高负载精密Z向位移台-PhysikInstrumente.pdf

高负载精密Z 向位移台 可与压电纳米级定位平台组合 M-451  行程为12.5毫米  负载容量自锁达12公斤  高刚性用于带压电陶瓷系统的组合  可与P-500和PIMars压电陶瓷系统兼容  设计分辨率达3纳米  最小位移达100纳米 用于高负载的精密Z向位移台 在垂直方向上，M-451 Z 向位移台可以最高精度放置达12公斤的高负载。变型配置有ActiveDrive直流电机、直流齿轮电机和两相步进电机。 使用应力消除、加工铝的设计可构建重量极低、稳定性优异的多轴系统。构造中包含滚柱轴承导向楔型物，可实现高 倾斜/倾斜刚性和负载能力，并且具有使用免保养的特点。 规格 M-451.1PD M-451.1DG M-451.12S 单位 公差 主动轴 Z Z Z 运动和定位 M-451.1PD M-451.1DG M-451.12S 单位 公差 行程 12.5 12.5 12.5 毫米 集成传感器 旋转编码器 旋转编码器 – 传感器分辨率 4000 2000 – 步/圈 设计分辨率 0.042 0.0028 1.25 微米 最小位移 0.2 0.1 0.2 微米 空回 1 1 1 微米 单向重复精度 0.3 0.3 0.3 微米 螺距/偏转角 ±75 ±75 ±75 微弧度 直线度 1 1 1 微米 平面度 1 1 1 微米 速度 3 0.5 0.8 毫米/秒 最大 参考点开关重复性 1 1 1 微米 机械特性 M-451.1PD M-451.1DG M-451.12S 单位 公