多能量收集结构微电池工作模型建立和结构优化-6-11最终版-(修复的).docx

摘要 随着MEMS系统的快速发展，微能源逐渐成为MEMS发展和应用中的一个非常关键的瓶颈问题。但目前常规能源和现有的微能源在体功率密度、使用寿命、稳定性及对环境的适应能力方面远达不到微电子机械系统的需要。基于β伏特效应的放射性同位素微电池具有体积小（微米量级）、寿命长（可达十几甚至几十年）、稳定性好等优点，成为微能源系统研究的一个新方向，而本文在此基础上提出了一种全新的微电池——多能量收集结构微电池，为了指导电池的设计和制作，有必要建立理论模型。 本文用理论研究和数值模拟的方法，深入研究了多能量收集结构微电池的工作原理和数学模型。多能量收集结构微电池相对于普通的PN结能量收集结构来说能够提供更大的电压和电能，主要是由于该电池同时使用两种能量收集结构：其一是由静电力引起机械振动，利用不同金属的功函数将机械能转换为电能的合作结构，称为振动能量收集结构；其二是以GaN基PN结为基础，利用β伏特效应产生电能的结构，称为PN结能量收集结构。 本文在对多能量收集结构理论建模的过程中分成了两大部分：第一部分着重对振动能量收集结构进行建模，介绍了振动能量收集的发电原理，对其发电过程进行了数学建模和分析，同时还对其参数进行了模拟，除此之外，还初步设计了振动能量收集结构的尺寸：第二部分采用理论研究和数值模拟的方法，深入研究了PN结能量收集结构的工作原理，提出了三明治结构设计，并建立了描述电池能量转换