基于改进六位置法的一种MEMS加速度计标定补偿方案.doc

PAGE 4 电 子 元 件 与 材 料 2003年 向高林，等：基于改进六位置法的MEMS加速度计标定 向高林，等：基于改进六位置法的MEMS加速度计标定 基于改进六位置法的一种MEMS加速度计标定补偿方案 向高林，刘宇，龚大伟，吕玲，吴林志 （重庆邮电大学 光电信息感测与传输技术重庆市重点实验室，重庆 400065） 摘要: MEMS（Micro Electronic Mechanical System, MEMS）加速度计在测量过程中受安装误差、刻度因子及零偏影响，为提高MEMS加速度计的测量精度，在六位置法标定的基础上，提出一种改进的MEMS加速度计标定补偿方案。利用小波滤波对MEMS加速度计的原始测量值进行滤波，运用六位置法对六个位置的原始数据进行标定得到补偿模型。通过实验验证，MEMS加速度计测量精度由标定前的1.2m/s2提高到0.01 m/s2，由MEMS加速度计解算的横滚角和俯仰角精度由标定前的1°提