有机半导体薄膜生长原位实时测量方法研究.PDFVIP

有机半导体薄膜生长原位实时测量方法的研究 徐佳佳 胡春光 陈雪娇 张雷 傅星 胡小唐 Studyonin-situreal-timemeasurementforthinfilmgrowth of organic semiconductors XuJia-Jia HuChun-Guang ChenXue-Jiao ZhangLei Fu Xing Hu Xiao-Tang 引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,230701(2015) DOI: 10.7498/aps.64.230701 在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.64.230701 当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2015/V64/I23 您可能感兴趣的其他文章 Articlesyoumaybeinterestedin 基于粒子群算法的有机半导体NPB传输特性辨识 IdentificationforholetransportingpropertiesofNPBbased on particle swarm optimizationalgorithm 物理学报.2014,63(2): 028105 /10.7498/aps.63.028105 全场彩虹技术测量喷雾浓度及粒径分布 Concentrationandsizemeasurementsofsprayswithglobal rainbow technique 物理学报.2013,62(9): 090703 /10.7498/aps.62.090703 发光层厚度对联苯乙烯衍生物蓝色有机发光器件性能的影响 Influence of active layer thickness on the performance of distyrylarylene derivative blue organic light- emittingdevice 物理学报.2012,61(9): 098101 /10.7498/aps.61.098101 物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 64, No. 23 (2015) 230701 有机半导体薄膜生长原位实时测量方法的研究 徐佳佳 胡春光 陈雪娇 张雷 傅星 胡小唐 1) (天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072) 2)(天津大学精密仪器与光电子工程学院, 天津 300072) 3)(山东大学控制科学与工程学院, 济南 250061) ( 2015 年6 月5 日收到; 2015 年8 月14 日收到修改稿) 针对原位实时监测有机半导体薄膜生长情况的需求, 提出了差分反射光谱法与场效应晶体管法结合的光 电联合测量方法, 设计研制了测量系统. 以并五苯有机分子为例, 通过自制底栅底接触式场效应管微结构, 实 验测试了热蒸发法生长导电膜层过程中光电信号的演变与相互关联. 光谱信号显示, 并五苯以薄膜态结构进 行生长, 光谱随生长进程变化显著. 实验数据与四相结构模型仿真结果的良好吻合, 表明因薄膜增厚引起干 涉条件的改变是光谱变化的主因, 由此推算出薄膜生长速率为0.23 nm/min. 当薄膜等效厚度达到28 nm 时, 场效应管的导电性显著增强, 标志着并五苯有效传输层的形成. 此后, 薄膜厚度持续增加, 但测试电流增长缓 慢, 说明该结构进入电学特性饱和区. 光电联合法不仅有助于研究有机半导体薄膜的光谱信息、电学特性和 薄膜结构之间的相互对应关系, 也为发展原位监测有机半导体薄膜制备过程, 探索最佳工艺提供了新的研究 手段. 关键词: 有机半导体薄膜, 光电特性, 原位测量, 并五苯 PACS: 07.60.Hv, 81.05.Fb, 78.40.Me, 72.80.Le DOI: 10.7498/aps.64.230701