质量和体积流量控制器.DOC

PAGE PAGE 6 气体质量流量控制器 气体体积流量控制器 操作手册 10/26/2005 Rev.4 DOC-ALIMAN16C 保护你的权益和延长你的产品使用寿命 设备应用的注意事项 请不要随意拆卸，替换部件，或者执行未经认可的修正。这样做会导致使用方法没有正当的产品担保或维护理由。此产品不要用户随便的维护，并应该仅在授权人员的指导下使用。 不要在易爆，潮湿或腐蚀的环境下使用此产品。 不要用于任何腐蚀性的气体，例如：氨，丙烯，HCI，SO2，H2S，NO2，NO，硅烷，氯，等等 不要当蒸汽凝结成水的情况下通气，并堵塞产品内部的条件下使用此产品，这样会造成压力传感器的破坏 不要量程超出你实际需要的很多流量计，例如，不要把1000升的量程用在100升的应用上。 判断你的流量计量程，确定工况流量是流量计满量程的70%左右。 设备安装的注意事项 不要快速的切断/开启阀，那样会致使流量计处在瞬时的高压下－（尤其重要的是低流量（50SCCM和更低）和小流量的流量线路），因为那样能造成差压传感器的损坏。 在固定或移动配件时，不要让控制器的阀门处于受力状态——阀门是一个精密设备，任何阀径的扭曲都会影响产品的控制性能。 不要让流量控制器的外壳置于任何液体中，因为本产品不具有防水的电气外壳。 保证电源具有正确的正负极，电压和电流 确保在使用一个DC61或其他钝切电缆时，在通电之前请仔细检查你的接线线路。 如果可能的话，请确保在设备的前端使用一个过滤系统（20-50微米） 设备操作的建议 确保注意了质量和体积流量计选择设置了哪种气体标定。 确保考虑到了当改变或混合气体时，会减小质量和体积流量计的精度，和出现无法预测的结果。请查看手册附件中关于气体粘度的指示。 确保设备不要使用在高压，或高背压的环境中。通常使用在10~15 PSIG（0.66~1bar）的压力下。不可超过此压力，否则测量数据不准确，并且还会给仪表造成损害。 确保设备经常复位，在复位的时候，应该确保此时绝对没有流量通过。（控制器将在设定点为零的时候自动复位） 确保产品使用在150 PSIG压力下。对于压力表和压力控制器，产品的压力应该在其满量程之内。产品特别指定，在低压使用时可能会减小耐压极限。 确保产品在最佳性能下运行 确保可以调节你的控制器 P和D 阀参数设置，以便适应您的系统要求，注意调节前的最初设置 永远不要在没有压力的情况下，来设置控制器的非零的设定点。这样的话，控制器会给阀门提供一个满电压，来达到这个设定点。这样会使阀门变得非常热而永久损坏 确保根据你的重新校准表来使用产品 如果您有问题请联系我们。我们乐意为您提供帮助！ 北京颇特仪器有限公司 联系电话：010转28分机 技术部 目录 页数 安装 5 管道设备 5 装配 5 应用 5 电源和信号连接 6 输入信号 7 模拟输入信号 7 RS-232数字输入信号 7 输出信号 7 RS-232数字输出信号 8 标准（0-5Vdc）电压输出信号 8 选项0-10Vdc电压输出信号 8 选项（4-20mA）电流输出信号 8 选项第2路模拟输出信号 8 气体质量流量控制器操作说明 10 主模式 10 设定点 10 气体绝对压力 10 气体温度 11 体积流量 11 质量流量 11 闪烁报警信息 11 选择菜单模式 11 控制设定点模式 12 输入 12 回路 13 选择回路 13 气体选择模式 14 通信选择模式 15 部件ID 15 波特率 15 数据速率 15 厂家数据模式 16 目录 页数 气体体积流量控制器操作说明 17 主模式 17 体积流量 17 设定点 17 闪烁报错信息 17 选择菜单模式 18 控制设定点模式 18 输入 18 选择回路 20 气体选择模式 20 通信选择模式 20 厂家数据模式 20 RS232输出和输入 20 超级终端的使用和设置 20 切换流模式到轮循模式 21 通过RS232发送设定点 21 通过RS232通信调节P和D参数设置 23 选择一种气体 24 数据格式 24 RS232通讯协议基本结构 25 操作原理 26 气体粘度 26 其他气体 27 体积流量与质量流量比较 27 可压缩性 28 标准气体数据表 28 25℃ 29 0℃下的 30 低压下的体积流量计和控制器 31 常见问题及技术支持 32 维护和校准 33 技术指标 34 气体质量流量控制器和体积流量控制器性能指标 35 气体质量流量控制器和体积流量控制器尺寸图 39 附加选项 选项：累计模式 42 选项：9V电池包 43 选项：本地设定点模块 45 选项：高温选项 46 附件：FlowVision软件 47 附件说明