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- 约 78页
- 2019-06-10 发布于天津
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迈入21世纪新材料;目 录;生物材料与智能材料
医用生物材料
仿生材料
工业生产中的生物模拟
智能材料及智能系统
宇航及动力机械材料
材料制备工艺及检测
纳米材料科学技术
材料设计
;不同类型材料的发展
金属结构材料
工程陶瓷及其它无机非金属材料
有机高分子材料
先进复合材料
碳素材料
结束语; 序 言;(一)信息时代的信息功能材料仍是最活跃的领域; 但不同档次的硅芯片在21世纪仍大量
存在,并将有所发展。
* 在绝缘衬底上的硅(SOI,SiOn Insulator) :功能低、低漏电、集成度高、高速度、工艺简单等。SOI器件用于便携式通信系统,既耐高温又抗辐照。
* 集成系统(IS,Integrated System):在单个芯片上完成整系统的功能,集处理器、存储器直到器件设计于一个芯片 (System on a Chip)。
* 集成电路的总发展趋势:高集成度、微型化、高速度、低功耗、高灵敏度、低噪声、高可靠、长寿命、多功能。为了达到上述目标,有赖于外延技术(VPE,LPE,MOCVD 及 MBE)的发展,同时对硅单晶的要求也愈来愈高。表1为集成电路的发展对材料质量的要求。
;表1 集成电路发展对材料质量的要求;(2)第二代半导体材料是Ⅲ-Ⅴ族化合物;(3)第三代半导体材料是禁带更宽的SiC、GaN及金刚石。
(4)下一代集成电路的
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