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自组装——自底而上的纳米制造方法（续） NanoelectronicDeviceTechnologyamp;■■■_ 自组装——自底而上的纳米制造方法(续) 阿兰?奥瑞尔登,曾安培,赵志龙 (1.爱尔兰国家微电子研究中心,爱尔兰科克999015; 2.亚利桑那州立大学,美国坦普85287—6106) 中图分类号:TN405文献标识码:A文章编号:1671—4776(2005)06—0259—07 Self-Assembly:ABottom-upApproach forNanofabrication(Continued) 0’RIORDANAlan.TSENGAmpereA,ZHAOZhi—long2 (1.NationalMicroelectronicsResearchCentre,Cork999015,Ireland; 2.Arizort~tStateUniversity,Tempe,Arizon~t85287-6106,USA) 3.3蛋白质模板化自组装 真核细胞二噻骨架(Cytroskeleton)的微管组 元是具有外径25nm和长度几个毫米的蛋白质丝. 它们具有较大的几何长径比,是适于组装磁性和电 传导性纳米丝的生物分子模板.吸附在微管表面的 钯催化剂诱发非电镀镍层,Kirsch等人证实了这种 三维微管镀金属法.近年来,Lindquist等人采用 淀粉纤维体自组装出导电纳米丝一.存在于改性 蛋白质纤维(来自于啤酒酵母)中的半胱氨酸残余 物可与胶质金颗粒实现共价键连接.通过胶质金化 学增强淀积附加金属形成生物模板金属线,表现出 (a)连接在两电极之间的金(h)相应,-曲线 覆盖蛋白质纤维 图9生物模板金属线及其,-曲线 低的电阻性,见图9. Yu及其合作者利用纳米管模板合成出形状可 控的银纳米颗粒.一种特定的肽序列AG4(用 肽组合库鉴别)具有与Ag纳米晶体结合的特性, 经离析,排序后和Ag纳米晶体在纳米管模板表面 上结合.利用这些模板,Ag离子的生物矿化使得 六方Ag纳米晶体可以匀质生长. 4力场直接控制的自组装 近年来,以分子尺度无机材料作为功能单元构 建新一代纳米光电装置成为人们关注的热点.然 而,鉴于预制组件非均匀集成的复杂性,需要一整 套组装工具才能够准确地在特定部位实现纳米尺度 组件的集成.为此,必须研究许多新的基于外部控 制力场(自然流场,磁场或电场)的自组装技术. 这些技术的现行原则是能够让力场驱使纳米尺度组 元移动,配置和定位,即在芯片表面选择受体位置 自组装.这一领域中一些关键性的最新进展如下. 4.1流体自组装 Lieber课题组证实流体流可分层自组装和排列 一 维离散半导体纳米丝.纳米丝悬浮液以可控 收稿日期:2004—10一O1 基金项目:美国国家科学基金资助项目(DMI.0002466,CMS-O115828,DMI-0423457) @微纳电子技术2005年第6期 一 糠.貅熊—■№oe.ectro…nicD…eviceamp;Te.cy 的流速和一定的时间间隔流过隧道结构,可以制造 出GaP,InP和si纳米丝阵列.纳米丝的分离和空 间位置易于采用软光刻技术毛细管微模型加以控 制.当PDMS模型被除去后,在基底表面流体流动 方向上,可以观察到平行的纳米丝列.在层层组装 工艺中,通过顺序地改变流动方向,可以得到多重 交叉的纳米丝阵列,见图10. (b)通过顺序组装创建的n型InP纳米丝,典型2x2交叉列 图l0流体自组装及n型InP纳米丝 组装纳米丝密度随淀积时间的延续和基底表面 化学改性而增加.GaP,InP和Si纳米丝被成功地 固定在二胺末端SAM预处理的基底上.利用胺部 分正电荷与纳米丝表面本身的负电荷间的静电作用 力将装置结合在基底上,随后,利用蒸发淀积Ni/ In/Au金属接触电极,实现纳米丝的电接触.采用 这种办法,已经自组装出各种纳米尺度逻辑装置, 诸如场效应管(FETs)和逻辑门结构,这些装置 的基本计算能力已经得到了证实[. 4.2磁性自组装 外加磁场被用于控制孤立的磁体纳米丝的操作 和自组装[67,68~.大磁体的各向异性和高的平行于 纳米丝长轴的残余磁性,能够柔顺组元的取向和操 作形成自组装的顺序结构,比如,磁场组装的头尾 相连的纳米丝链可以延展上百微米. 局域磁场也被用于自组装和在光刻制造的精细 电极上以捕捉单个纳米丝.用这种方法,可在 硅的基底上制作间距为6m的覆盖一层Au的椭 圆形Ni电极;采用标准的电淀积技术,在氧化铝 模板纳米孔中生长出三段Pt-Ni-PI纳米丝;在 KOH中通过溶解模板摘除纳米丝,采用永久磁体 收集,重新悬浮在溶剂溶液中,并分布到基底表面 上.在两个电极杆之问建立的局域双极磁场,足以 限制处于两电极间隙之问的单个纳米丝的取向和自 组装,见图1