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利用新型传感技术改善热处理工艺的可靠性 第卷第2期 2OO2年4月 国外金属热处理 GUOWAI,IINSHURECHI~ v01.23.N0.2 Apt,2OO2 利用新型传感技术改善热处理工艺的可靠性 主:禀10000100083)詈曩笨编译北京机电研究所(北京易汉平… ? 设备? 摘要为了提高热处理工艺可靠性需要广泛使用侍感器监驯,主要体现在两个方面:与热化学过程中的质量交换 相关的领域以度碎戈过程.就质量变撬而言,由于娃少直接测量质量交换的传感嚣,必须蹿气氛成分进行可靠测 量.于是在大约加年前开发了就地氧探头.目前一个类似的突破是就地氢探头的出现,谊探头用于渗氪以度碳氪 共渗过程.过去基奉上忽略了气淬或液淬强度的监控.现夸用于气淬和油/水淬的新型热流侍感器使热处理过程控 制水平戈为提高. 关键词新型侍盛嚣渗氪碳氪共渗淬戈 0引言 热处理工艺参数主要包括炉温,工件温度,气氛 势,碳流量或氮流量,气体流量,炉压或油槽温度,油 槽搅拌和冷却强度.许多参数可以用台适的传感器 或分析器来监控.其中的一半由于缺少现成的传感 器或测量装置而无法测量.由于不能监测重要热处 理工艺参数,时常导致热处理结果出现偏差,为此, 几年前开始着手改善现有的测量装置的可靠性,同 时开发热处理工艺所需的新型传感器. 1可靠的碳势控制 现今淬火或渗碳炉的标准碳势控制是借助于氧 探头测量炉内气氛中的氧势,同时测量炉温及炉内 气氛中的CO含量.如果炉内气氛彼此间没有达到 平衡或准平衡,则基于所测氧势计算得到的碳势与 炉内碳势之间会出现偏差.下列情况下同样会出现 碳势偏差:固体电解质中没有纯氧离子导电却有电 子导电(在高温时发生)氧探头的测量电极对炉内 气氛有催化作用从而在测量点改变其成分;氧探头 端部形成碳黑或者随工件带人炉内的残留机加工油 或清洗剂的冷凝. 由于这些偏差的出现超出了可能预测的范围, 因此,需定期,最好是连续检查氧探头的精度.迄今 氧探头精度的常规检查是每天或每周从炉内取薄箔 试样并分析含碳量.此外,人工露点测定也很普遍. 但全自动化设备中炉子和工件的输送都是封闭的, 试样进出炉受到限制,而阻碍了人工检测,唯一的解 决办法是使用多重气氛测量装置.如二次氧探头或 微型氧探头,或co/co2分析仪,见图1. 多重碳势控制系统通过氧探头来控制碳势,二 次检测仪表的碳势也是利用炉温进行计算,然后换 算成氧探头碳势.如果两套装置之间的差值超出预 定偏差带,则会给出一个报警信号. 田l多重气氨铡量系统 2渗氮和氮碳共渗系统的控制 2.1氢气传感器 渗氮过程中氨分解按每[N]+3/2H2进行, 氮势确定如下:=/%.现有氮势测量方 法要么使用氨分析器或氢气分析器,要么使用包含 镍催化剂的氧探头,镍催化荆直接决定炉内氨分解 的程度.由于在氧探头内部将镍催化剂加热到 1000的集成加热装置的复杂性,使得该特殊氧探 头复杂化从而引起不可靠性.另外它无法辨别是氨 分解还是现存其它氢气化合物如甲烷(c)等的分 解,因此,在某些情况下会给出不同于炉内真实氮势 的测量信号. 一 种新型的直接测量炉内氢分压的传感器,似 可解决基于氧探头的测量仪器所存在的问题.该传 国外金属热处理第23卷 感器类似于一只氧探头,由一个测量管组成,然而它 不像氧探头那样传导氧离子.而只传导氢气(见图 2).由于管内是真空,因此只要管内外存在氢压差, 氢气就会通过测量管而扩散.在管子尾端安装一只 压力传感器,以便连续测量管内氢分压. p-lH2)=pl( 压力平衡式 田2氢传感器的设计原理 高温下氢气通过测量管传导极快,比如在400 ℃以上,响应时间不足1m_m探头内外氢压即可达到 平衡.通过连续测量渗氮或氮碳共渗过程中炉内的 氢分压可以计算出氮势,碳势和氧势. 单纯渗氮易于解决.因为测得的炉内氢含量只 会来自分解氨,从而测得氢气压力就可知道炉内氨 含量.进而通过氢传感器的测量结果可以计算出氮 势.对于氮碳共渗情况多少有点复杂,因为不只一 种势(氮势)而是有3种势存在,除氨以外还有其它 气体如co2,吸热气体c}Il及.因此,要想通过炉 内氢分压来计算气氛势,需知道炉内的气体量.这可 以通过使用适用于这些气体的质量流量计来解决. 采用基于水汽反应平衡方程一个特殊的数学模 型.可通过流人炉内的气体量和测得的氢含量来计 算炉内所有其它气氛组份.如NH3,CO,O和,从 而计算出氮势,碳势和氧势.图3显示了一个氮势 控制氮碳共渗工艺的典型曲线.同时显示了炉温测 量值以及氮势计算值. 2.2动态传感器 在渗氮和氮碳共渗过程中控制气氛势是形成炉 内气氛的基本条件,在该炉内气氛条件下将得到所 需的化合物层结构以及表面氮和碳的含量.但仅当 形成近似于给定气氛且气氛与工件之间产生表面反 应时才能得到上述结