三氯氢硅四川省质量技术监督局.docxVIP

ICS 71.060.10 DB 四川省区 域 性 地 方 标 准 四川省 DB511100/T21-2010 三氯氢硅 Trichlorosilane 2010-02-10 实施2010-01-10 2010-02-10 实施 四川省乐山质量技术监督局 发布 本标准按照GB/T1. 1-2009《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写》给出的规则起草。 本标准的附录A、附录B为规范性附录。 本标准由四川省乐山质量技术监督局提出。 木标准由乐山市产品质量监督检验所归口。 本标准起草单位：乐山市产品质量监督检验所、峨嵋半导体材料研究所、峨嵋半导体材料厂。 本标准主要起草人：丁国江、胡乐莎、陈颖、张瑛、何兰英、文英、郑孝桃、张梅、李江涛 本标准于2010年1月10日首次发布，2月10日实施。 三氯氢硅 1范围 本标准规定了三氯氢硅的定义、技术要求、试验方法、检验规则、运输、贮存、标志、质量证明书 和订货文件。 本标准适用于氯化氢和工业硅合成的用于制备太阳能级、集成电路级硅多晶的三氯氢硅。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T 2881 工业硅 GB 5138工业用液氯 GB/T 7445纯氢、高纯氢和超纯氢 3定义 三氯氢硅(硅氯仿)：无色透明液体，极易挥发，易燃，具强腐蚀性、强刺激性，可致人体灼伤, 溶于苯、瞇等多数有机溶剂。熔点：-134°C,沸点：31.8°CO 4技术要求 1外观为无色透明液体。 2 三氯氢硅含量要求见表1 表1三氯氢硅含量要求 名称(V) 要 求(%) SiHCL $99 SiHzCl? 1 IIC1 1 SiCL 1 注：用户对产品的含量如冇特殊要求，可由供需双方自行商定。 4. 3痕量杂质含量要求见表2 表2痕量杂质含量要求 名称(V) 要 求(ppba ) B W400 Fe W100 Al W30 Cu W20 Cr W20 Ni W20 Co W10 Ca W20 Mg W20 续表2 Zn W10 Mn W20 注：用户对杂质如有特殊要求，可由供需双方自行商定。其屮P、C含量作为特殊要求。 5试验方法 1产品外观质量，目视检查。 2三氯氢硅含量采用气相色谱测定三氯氢硅组分的检验方法（见附录A） o 3三氯氢硅痕量杂质采用电感耦合等离子体光谱仪（TCP-OES）测定三氯氢硅痕量杂质的检验方法（见 附录B）。 6检验规则 1组批 产品应成罐（罐车）交验，每批应由同一工艺生产的产品组成。 6. 2判定 每批产品取两个样（见附录C）, 一个用于三氯氢硅含量分析，另一个用于痕量杂质检验。 6.2.1三氯氢硅含量分析，将样品进行三次分析，取其中分离度R高（R1.5）的谱图报告数据，若不 合格，允许再次取样分析，仍不合格则判定该批产品不合格。 6.2.2痕量杂质检验将一个样品取2份同时进行检测，取值按照样品的平均值发报告，若其中有一个样 品检测不合格时，允许再取2个试样进行重复检验。若仍有一个试样检验不合格，则判该批产品为不合 格。 2. 3产品质量异议 订购方对产品质量有异议，应于收货后三个月内向承制方提出，协商解决。 7运输、贮存和标志 1运输 7. 1. 1本产品系高纯液态化学物质，采用有运输许可证的专用槽车装运。 7. 1. 2槽草车上应标识“腐蚀”、“易燃”等标志。 7. 2贮存 本产品系液体，20°C时密度为1. 34g/cm3,折射率1.4—1.402,沸点为31.8°C,应用经过SiCh和 SiHCls处理的不锈钢专用储罐储存，并贮存于清洁、通风良好、干燥阴凉处。产品有效期为一年。 7. 3标志 产品标识应标明如下内容： a） “腐蚀”、“易燃”等标识，本产品代号为10025-78-2； b） 有关化学品运输专用标志。 8质量证明书和订货文件 8. 1产品质量证明书 产品质量证明书应标明如下内容: a） 合同号； b） 产品名称； c） 批号； d） 净重； e） 检验结果； f） 检验日期； g） 技术监督部门印记； h） 本规范编号。 8. 2订货文件 定单应载明下列内容： a） 产品名称； b） 产品数量； c） 每槽车产品重量； d） 包装方式； e） 发货次数； f） 发货日期； g） 其它要求。 危化品经营证 附录A （规范性附录） 气相色谱法测定S i HS13含量的检验方法 A. 1原理 选用高纯氢气做载气，待测样品进入汽化室后被瞬间汽化，在载气推动下，经过色谱分离柱，由于 不同化合物的性质存在差异，它们在固定相的分配系数不同，流出色谱分离柱的速度有快有慢，因而被 测的混合物组分被色谱柱分离成单一组份，并依次被载气带入