真空微电子学.pdf

当代 电子 学 的标 志 真 空微 电子 学 苏世 民 (机电部第13研究所．石哀盅，050051) 擒耍 拳文概述 了真空徽 电子学的基本原理、特性、用连及发展现状 现在真 空扬发射三极管高频 电压增益可做到l1dB，跨导为88,a8。预计真空撤三极 管 的频率可遗 3GHz以上。指 出，新研制 的真空微 电子微带 放大器 在 3s~1000 GHz (1THz)频段 下输 出琦率 ~Ig／INS0W 。 主量词 微 电子技术， 电真空器件 Landmark ofCurrentElectronies．VaCUUm Microelectronies Su Shimi (TheI3th Ins+itute，Ministry 。fMEI，Shiji4zhuaE．0500~1) ABSTRA CT Thispaperbriefly desvribestheprimaryprinciple， characteristicS， app