前驱体液滴在射频感应等离子体中的蒸发和传热传质-热能动力工程.PDF

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31 1 Vol. 31 ,No. 1 第 卷第 期 热 能 动 力 工 程 2016 1 JOURNAL OF ENGINEERING FOR THERMAL ENERGY AND POWER Jan. ,2016 年 月 文章编号:1001 - 2060 (2016)01 - 0037 - 05 前驱体液滴在射频感应等离子体中的蒸发和传热传质 宋 , , 卓林 单彦广 许恋斯 ( , 200093) 上海理工大学 能源与动力工程学院 上海 : RF ( ) 摘 要 建立液滴在 高频感应 等离子体射流中的运动 论和实际意义。 , 、 。 蒸发模型 模拟前驱体液滴的蒸发 传热和传质 通过时变 本研究模拟了液滴在高频感应热等离子体内的 、 系统控制方法的质量守恒方程 动量守恒方程和能量守恒方 , 、 运动蒸发及传热传质过程 综合考虑了液滴 热等离 , 程来预测射频电感耦合等离子体内液滴的运动和蒸发 得到 子体气流随着温度和组份变化时液滴表面气态混合 了液滴半径和液滴表面温度的变化以及液滴内部温度分布。 、 物 斯蒂芬流对薄膜理论的修正影响以及液滴内部 : , 研究结果表明 随着液滴初始尺寸的增大 在热等离子体低 , 、 的环流作用 进一步获得了液滴的表面温度 尺寸变 , , 温区的停留时间越长 液滴表面缓慢而均匀的受热 因此表 、 化以及溶液液滴内温度 溶质浓度的分布情况及变 , 。 面溶质浓度到达饱和浓度的时间较长 半径变化率变小 液 化过程。 , , 滴初始入射速度越大 所经历的环境温度越高 液滴表面蒸 , , 。 发速度越快 半径变化越小 溶质结晶析出所需时间越短 :RF ; ; 1 数学模型 关 键 词 等离子体 蒸发模型 传热传质 中图分类号:TK123 文献标识码:A 本研究采用基于单彦广等人建立的二维非稳态 DOI :10. 16146 /j. cnki. rndlgc. 2016. 01. 006

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