表面分新析解析技术.pptVIP

内能级 * 表面分析技术原理和仪器 表面分析的特点 表面是固体的终端，表面向外一侧没有近邻原子，表面原子有部分化学键伸向空间，形成“悬空键”。因此表面具有与体相不同的较活跃的化学性质。 表面指物体与真空或气体的界面。 表面分析通常研究的是固体表面。表面有时指表面的单原子层，有时指上面的几个原子，有时指厚度达微米级的表面层。 是用一个探束(光子或原子、电子、离子等)或探针(机械加电场)去探测样品表面并在两者相互作用时，从样品表面发射及散射电子、离子、中性粒子(原子或分子)与光子等，检测这些微粒(电子、离子、光子或中性粒子等)的能量、质荷比、束流强度等，就可以得到样品表面的形貌、原子结构(即排列)、化学组成、价态和电子态(即电子结构)等信息。 表面分析技术的特点 表面“形貌”分析指“宏观”几何外形分析。主要应用电子、离子显微镜进行观察分析，当显微镜的分辨率达到原子级时，可观察到原子排列，这时“形貌”分析和结构分析之间就没有明确的分界。 扫描电子显微镜 (Scanning Electron Microscope，SEM） 离子诱导扫描电子显微镜 (Ion Induced Scanning Eletron Microscope，IISEM） 场离子显微镜 (Field Ion Microscope，FIM） 扫描隧道显微镜 (Scanning Tunnelling Microscope，STM) 原子力显微镜 (Atom Force Microscope，AFM) 表面组分分析包括表面元素组成、化学态及其在表层的分布测定等。后者涉及元素在表面的横向和纵向(深度)分布。主要应用： X射线光电子能谱 (X－ray Photoelectron Spectroscopy，XPS 或Electron Spectroscope for Chemical Analysis，ESCA） 俄歇电子能谱 (Auger Electron Spectroscopy，AES) 电子探针 (Electron Micropobe，EMP) 二次离子质谱 (Second lon Mass Spectronmetry，SIMS) 离子散射谱 (Ion Scattering Spectroscopy，ISS) 表面结构分析研究表面原子排列。 低能电子衍射 (Low Energy Electron Diffration，LEED) 光电子衍射 (X－ray Photoelectron Diffraction，XPD) 表面扩展能量损失精细结构 (Surface Extended Energy Loss Fine Structure，SEELFS) 表面扩展X射线吸收精细结构 (Surface Extended X－ray Absorption Fine Structure，SEXAFS) 扫描隧道显微镜 (Scanning Tunneling Microscope，STM) 原子力显微镜 (Atom Force Microscope，AFM) 表面电子态分析包括表面能级性质、表面态密度分布、表面电荷分布及能量分布等。主要有: 紫外光电子谱 (Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy，UPS 电子能量损失谱 (Electron Energy Loss Spectroscopy，EELS） 角分解X射线光电子能谱 (Angle-Re-solved X-ray Phtoelectron Spectroscopy，ARXPS） 扫描隧道显微镜 (Scanning Tunnelling Microscope，STM) 原子力显微镜 (Atom Force Microscope，AFM) 表面分析技术和仪器简介 表面分析技术中涉及到微观粒子(电子、离子、光子、中性原子、分子等)的运动和检测。所以这类仪器必须具有高真空(≤l0－4 Pa)。 为了防止样品表面被周围气氛污染，有时还必须有超高真空(UHV，≤10－7 Pa)。由于表面分析中只涉及样品非常浅薄的表层，所检测的信号非常弱。 表面分析技术是通过微观粒子与材料表面的相互作用而获取信息的。因此涉及较深的物理知识(电离、散射等)。 ◆ ◆ ◆ 表面分析仪器是建立在超高真空、电子－离子光学、微弱信号检测、精密机械加工以及电子计算机等技术基础上的，是综合性较强的仪器。 任何一种表面分折技术都有它的长处，也有它的短处。因此综合应用不同的分析技术以得到相互补充、完善的分析结果常被采用。 因而出现了多功能表面分析仪器 (如XPS-