表面改新性技术.pptVIP

进行快速加热和快速冷却，使表层的结构和成分发生大幅度改变（如形成微晶、纳米晶、非晶、亚稳成分固溶体和化合物等），从而获得所需要的特殊性能。 束流技术还具有能量利用率高、工件变形小、生产效率高等特点。 离子注入：在真空下，将注入元素离子在几万至几十万电 子伏特电场作用下高速注入材料表面，使材料表面层的物 理、化学和机械性能发生变化的方法。 离子注入：在真空下，将注入元素离子在几万至几十万电 子伏特电场作用下高速注入材料表面，使材料表面层的物 理、化学和机械性能发生变化的方法。 离子注入的特点是： 可注入任何元素，不受固溶度和热平衡的限制； 注入温度可控，不氧化、不变形； 注入层厚度可控，注入元素分布均匀； (7)电子束辐照与激光辐照的主要区别在于产生最高温度的位置和最小熔化层的厚度。 电子束加热时熔化层至少几个微米厚，这会影响冷却阶段固一液相界而的推进速度。电子束加热时能量沉积范围较宽，面且约有一半电子作用区几乎同时熔化。电子束加热 的液相温度低于激光，因而温度梯度较小，激光加热温度梯度高且能保持较长时间。 (8)电子束易激发X射线，使用过程中应注意防护。 二、电子束表面处理工艺 1．电子束表面相变强化处理 2．电子束表面重熔处理 3．电子束表面合金化处理 4．电子束表面非晶化处理 经电子束表面合金化处理后的零件 三、电子束表面处理设备 处理设备包括：高压电源、电子枪、低真空工作室、传动机构、高真空系统和电子控制系统。 四、电子束表面处理的应用 （1）汽车离合器凸轮电子束表面处理 汽车离合器凸轮由SAE3060钢(美国结构钢)制成，有8个沟槽需硬化。沟槽深度1．5mm，要求硬度为58HRC。采用42kW六工位电子束装置处理，每次处理3个，一次循环时间为42s，每小时可处理255件。 (2)薄形三爪弹簧片电子束表面处理 三爪弹簧片材料为T7钢，要求硬度为800HV。用1.75kW电子束能量，扫描频率为50Hz，加热时间为0.5s。 离子注入是将所需物质的离子在电场中加速后高速轰击工件表面使之注入工件表面—定深度的真空处理工艺，也属于PVD范围。 离子注入已在表面非晶化、表面冶金，表面改性和离子与材料表面相互作用等方面取得了可喜的研究成果。特别是在工件表面合金化方面取得了突出的进展。 7－7 离子注入表面改性 离子注入航空液压泵配流盘 离子注入设备 用离子注入方法可获得高度过饱和固溶体、亚稳定相、非晶态和平衡合金等不同组织结构形式，大大改善了工件的使用性能。目前，离子注入在微电子技术、生物工程、宇航、医疗等高技术领域获得了比较广泛的应用，尤其是在工具和模具制造工业的应用效果突出。 全方位离子注入与沉积设备 一、离子注入的原理 离子注入装置包括离子发生器、分选装置、加速系统、离子束扫描系统、试样室和排气系统。 从离子发生器发出的离子由几万伏电压引出，进入分选部，将一定的质量／电荷比的离子选出。在几万至几十万伏电压的加速系统中加速获得高能量，通过扫描机构扫描轰击工件表面。离子进入工件表面后，与工件内原子和电子发生一系列碰撞。这—系列碰撞主要包括二个独立的过程： 离子进入工件表面后，与工件内原子和电子发生一系列碰撞。这—系列碰撞主要包括二个独立的过程： (1)核碰撞： 入射离子与工件原子核的弹性碰撞。 碰撞结果使固体中产生离子大角度散射和晶体中产生辐射损伤等。 (2)电子碰撞： 入射离子与工件内电子的非弹性碰撞，其结果可能引起离子激发原子中的电子或使原子获得电子、电离或X射线发射等。 (3)离子与工件内原子作电荷交换。 无论那种碰撞都会损失离子自身的能量，离子经多次碰撞后能量耗尽而停止运动，作为一种杂质原子留在固体中。 (4)离子渗氮可使用氨气，压力很低，用量极少,所以污染低，劳动条件好。 (5)离子渗氮温度可在低于400℃以下进行，工件畸变小。 (6)可用于不锈钢、粉末冶金件、钛合金等有色金属的渗氮。 (7)由于设备较复杂，投资大，调整维修较困难，对操作人员的技术要求较高。 (二)离子渗氮的设备和工艺 1．离子渗氮的设备 2．离子渗氮的工艺 近年来，金属材料表面改性处理新技术得到了迅速发展，开发出许多新的工艺方法，这里只介绍主要的几种。 三束表面改性技术 是指将激光束、电子束和离子束(合称“三束”)等具有高能量密度的能源(一般大于103W/cm2)施加到材料表面，使之发生物理、化学变化，以获得特殊表面性能的技术。 激光束加工 电子束加工 等离子束加工 由于这些束流具有极高的能量密度，可对材料表面 离子束溅射系统 激光表面处理是高能密度表面处理技术中的一种主要手段。在一定条件下它具有传统表