超薄金属透明导电膜及其应用研究进展.PDF

２０１９ꎬＶｏｌ.３３ꎬＮｏ.６　 ｗｗｗ.ｍａｔｅｒ￣ｒｅｐ.ｃｏｍ 超薄金属透明导电膜及其应用研究进展 １ꎬ２ ２ ２ １ꎬ２ １ꎬ２ ２ ２ １ ２ꎬ 许君君 ꎬ黄金华 ꎬ盛　 伟 ꎬ王肇肇 ꎬ赵文凯 ꎬ李　 佳 ꎬ杨　 晔 ꎬ万冬云 ꎬ宋伟杰 １　 上海大学材料科学与工程学院ꎬ上海 ２００４４４ ２　 中国科学院宁波材料技术与工程研究所ꎬ宁波 ３１５２０１ 透明导电薄膜被广泛地应用于显示、太阳能电池、发光二极管等光电子器件ꎮ 近年来ꎬ随着信息技术和新材料的不断革新ꎬ柔性电子器件在 显示、能源及可穿戴等领域得以迅速发展ꎬ这对透明导电薄膜的柔性化提出了新的挑战ꎮ 相比于其他类型柔性透明导电薄膜ꎬ超薄金属导电薄膜 具有柔性好、导电性好、光电性能均匀、稳定性好、成本低和可大规模制备等优点ꎬ有望成为替代 ＩＴＯ 的理想材料ꎮ 超薄金属薄膜的生长和其光电特性息息相关ꎮ 与常规电介质衬底相比ꎬ金属普遍具有较大的表面能ꎬ因而金属薄膜在衬底表面通常按照岛 状模式生长ꎬ阈值厚度高ꎮ 对薄膜厚度低于阈值厚度的金属薄膜而言ꎬ在电学特性方面ꎬ纳米团簇形貌使电子在薄膜晶界和表面被过多散射ꎬ电 子迁移率受到抑制ꎬ从而导致电阻率较高ꎮ 而在光学特性方面ꎬ离散的纳米团簇也会引起局域表面等离子体共振ꎬ使超薄金属薄膜的透过率曲线 在特定波长处明显下降ꎮ 尽管进一步增加薄膜厚度可以降低电阻率ꎬ但厚度的增加会使透过率下降ꎮ 因此ꎬ金属薄膜的超薄、低阈值厚度连续生 长是同时获得良好的光学和电学特性的关键ꎮ 已有的降低超薄金属薄膜阈值厚度的方法包括添加氧化物缓冲层和金属种子层、表面处理、掺杂及低温沉积等ꎮ 其中添加氧化物的方法因 可选择材料种类丰富、制备工艺简单可控等优点ꎬ成为制备超薄金属薄膜最普遍的方法ꎻ引入金属种子层和掺杂的方法可有效提高金属薄膜的润 湿性ꎬ然而ꎬ其他金属的引入会带来薄膜光学损耗的问题ꎻ表面处理的方法对薄膜光学性能的影响较小ꎬ其利用聚合物分子层的官能团与金属原 子间的键合作用抑制金属原子的扩散ꎻ对温度精确控制的要求较高和设备昂贵使低温沉积法的推广面临挑战ꎮ 本文概述了超薄金属透明导电薄膜的最新研究进展ꎬ归纳总结了超薄金属薄膜的生长模式、电学特性和光学特性ꎬ重点介绍了降低超薄金属 薄膜阈值厚度、实现薄膜连续化生长的多种方法及原理ꎬ分析了超薄金属薄膜在太阳能电池、ＯＬＥＤｓ、长程表面等离子体激元波导以及 Ｌｏｗ￣Ｅ涂 层领域的应用情况ꎮ 最后讨论了超薄金属透明导电膜未来的发展方向ꎮ 关键词　 　 柔性透明导电膜　 超薄金属薄膜　 光学电学特性　 连续生长 中图分类号:ＴＢ３１　 　 文献标识码:Ａ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｐｒｏｇｒｅｓｓ ｏｎ Ｕｌｔｒａｔｈｉｎ Ｍｅｔａｌ Ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍｓ ａｎｄ Ｔｈｅｉｒ Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ １ꎬ２ ２ ２ １ꎬ２ １ꎬ２ ２ ２ ＸＵＪｕｎｊｕｎ ꎬＨＵＡＮＧＪｉｎｈｕａ ꎬＳＨＥＮＧ Ｗｅｉ ꎬＷＡＮＧＺｈａｏｚｈａｏ ꎬＺＨＡＯ Ｗｅｎｋａｉ ꎬＬＩ Ｊｉａ ꎬＹＡＮＧ Ｙｅ ꎬ １ ２ꎬ ＷＡＮ Ｄｏｎｇｙｕｎ ꎬＳＯＮＧ Ｗｅｉｊｉｅ １　 Ｓｃｈｏｏｌ ｏｆ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ ＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇꎬＳｈａｎｇｈａｉ ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙꎬＳｈａｎｇｈａｉ ２００４４４ ２　 Ｎｉｎｇｂｏ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ ｏｆ ＭａｔｅｒｉａｌｓＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ａｎｄ ＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇꎬＣｈｉｎｅｓｅ Ａｃａｄｅｍｙ ｏｆ ＳｃｉｅｎｃｅｓꎬＮｉｎｇｂｏ ３１５２０１ ｒａｎｓｐａｒｅｎｔ ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅｔｈｉｎｆｉｌｍｓ ａｒｅｗｉｄｅｌｙ ｕｓｅｄ ｉｎ ｏｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ ｄｅｖｉｃｅｓ ｓｕｃｈ ａｓ ｄｉｓｐｌａｙｓꎬｓｏｌａｒ ｃｅｌｌｓ ａｎｄ ｌｉｇｈｔ￣ｅｍｉｔｔｉｎｇ ｄｉｏｄｅｓ. Ｉｎ ｒ