连续激光辐照下的TiO薄膜热传导性质-中国光学.PDFVIP

第１２卷　第３期 　　　　 　　中国光学　　　　　　　 Ｖｏｌ．１２　Ｎｏ．３ 　 　　 　　　　　　　 ２０１９年６月　 　 　 Ｊｕｎ．２０１９ ＣｈｉｎｅｓｅＯｐｔｉｃｓ 文章编号　２０９５１５３１（２０１９）０３０６２８１０ 连续激光辐照下的ＴｉＯ薄膜热传导性质 ２  李代林 ，杨　丹，崔纪琨，王　宁，朱化凤 （中国石油大学（华东）理学院，山东 青岛２６６５８０） 摘要：热传导规律的研究在激光诱导薄膜材料改性等应用中有着重要的作用，本文针对二氧化碳激光器辐照下的二氧化 钛（ＴｉＯ）薄膜表面的热效应进行了理论仿真和实验研究。首先，对具有粗糙上表面的ＴｉＯ薄膜，利用有限元法构建了连 ２ ２ 续激光作用下的ＴｉＯ薄膜的立体模型并得到了其三维温度场分布。然后使用ＣＯ激光器进行辐照实验，分析了辐照时 ２ ２ 间和功率等参数对ＴｉＯ薄膜形貌、晶相以及颜色的影响。仿真表明，连续激光辐照下ＴｉＯ薄膜的瞬态温度场呈高斯分 ２ ２ 布，且与激光功率、光斑半径、辐照时间等因素有关。当表面温度小于分解温度时，薄膜上表面最大平均温度与激光功率 满足线性关系，与光斑半径满足ＥｘｐＡｓｓｏｃ非线性关系。实验结果表明，激光辐照引起ＴｉＯ薄膜材料表面粗糙度降低且 ２ 颜色变化。激光功率过小或辐照时间过短会导致有效作用面积小且不均匀，反之会产生热形变 。结合仿真和实验可知 使用功率为６Ｗ，半径为３ｍｍ的连续激光辐照ＴｉＯ薄膜１０ｓ时取得的处理效果最优。 ２ 关　键　词：连续激光；二氧化钛薄膜；传热规律 中图分类号：Ｏ４３６　　文献标识码：Ａ　　ｄｏｉ：１０．３７８８／ＣＯ０６２８ ＨｅａｔｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｏｆＴｉＯ ｆｉｌｍｓ ２ ｉｒｒａｄｉａｔｅｄｂｙａｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓｌａｓｅｒ  ＬＩＤａｉｌｉｎ ，ＹＡＮＧＤａｎ，ＣＵＩＪｉｋｕｎ，ＷＡＮＧＮｉｎｇ，ＺＨＵＨｕａｆｅｎｇ （ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＳｃｉｅｎｃｅ，ＣｈｉｎａＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＰｅｔｒｏｌｅｕｍ（ＥａｓｔＣｈｉｎａ），Ｑｉｎｇｄａｏ２６６５８０，Ｃｈｉｎａ） Ｃｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇａｕｔｈｏｒ，Ｅｍａｉｌ：ｑｄ＿ｌｄｌ＠ｕｐｃ．ｅｄｕ．ｃｎ Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｌａｗｓｏｆｈｅａｔｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎｐｌａｙａｎｉｍｐｏｒｔａｎｔｒｏｌｅｉｎｔｈｅａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｏｆｌａｓｅｒｉｎｄｕｃｅｄｆｉｌｍｍａｔｅｒｉａｌ ｍｏｄｉｆｉｃａｔｉｏｎ．Ｉｎｔｈｉｓｐａｐｅｒ，ｔｈｅｔｈｅｒｍａｌｅｆｆｅｃｔｓｏｆｔｉｔａｎｉｕｍｄｉｏｘｉｄｅ（ＴｉＯ）ｆｉｌｍｓｕｒｆａｃｅｓｉｒｒａｄｉａｔｅｄｂｙａｃａｒｂｏｎ