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第一章 绪论 1.3 空间与时间特征尺度--自然与人造物体空间尺度 第一章 绪论 1.3 空间与时间特征尺度--人类的手 皮肤 血液中的白细胞 DNA 第一章 绪论 1.3 空间与时间特征尺度-- DNA DNA的显微结构 第一章 绪论 1.3 空间与时间特征尺度--纳米电子学特征尺度 * ?两者之间并非直接对应?两者却存在一定关系 * ?两者之间并非直接对应?两者却存在一定关系 * ?两者之间并非直接对应?两者却存在一定关系 * ?两者之间并非直接对应?两者却存在一定关系 * ?注：这里的时空观是非相对论的 * ?注：这里的时空观是非相对论的 * ?注：这里的时空观是非相对论的 * ?注：这里的时空观是非相对论的 * ?注：这里的时空观是非相对论的 * ?注：这里的时空观是非相对论的 * ?注：这里的时空观是非相对论的 * ?注：这里的时空观是非相对论的 * ?注：这里的时空观是非相对论的 * ?注：这里的时空观是非相对论的 * ?注：这里的时空观是非相对论的 * 纳米电子学 方 粮 第一章 绪论 第一章 绪论 1.1 引言 纳米科技 纳米电子学是历史的必然 1.2 纳米结构中的介观现象 纳米结构中物质运动的新现象和新效应 1.3 空间与时间特征尺度 纳米电子学相关的特征时、空尺度 第一章 绪论 1.2 纳米结构介观现象 ?1.2.1 “介观”的概念 ?1.2.2 粒子性表现的介观现象 –弹道输运 –载流子热化现象 –单电子现象与库仑阻塞 ?1.2.3波动性表现的介观现象 –相位干涉导致的现象：普适电导涨落弱局域化 –电子隧穿现象：隧穿漏电流共振隧穿 ?1.2.4 纳米MOS器件的新效应 第一章 绪论 1.2 纳米结构介观现象 ?MOSFET结构的研究既具有 显著效益，又具有重要的科学意义 ?社会效益——现代信息技术基础 –现代计算机、通讯系统、电子系统的基础 ?经济效益——巨大规模的市场—制造处理器、存储器、CCD、探测器等 ?科学价值——其中发现许多新现象和新效应—二维电子气、电导量子化和普适电导涨落、载流子能量量子化、弹道输运 ?MOSFET小型化后出现许多既有科学价值，又有工程价值的新效应。 第一章 绪论 1.2 纳米结构介观现象 出现新的效应 第一章 绪论 1.2 纳米结构介观现象-“介观”的概念 第一章 绪论 1.2 纳米结构介观现象-宏观导体中的扩散输运 ?宏观材料导电性可以引入局域电导率σ来描述，如，矩形两维导体的电导（G）可以写成：G=σW/L 一般认为电导率由材料的性质所决定，与样品几何尺寸无关。 第一章 绪论 1.2 纳米结构介观现象-“介观”的概念-欧姆导体 L 第一章 绪论 1.2 纳米结构介观现象-“介观”的概念-扩散输运理论 ?扩散输运: 导体中电子在电场作用下的运动不断受到各种散射机制的散射作用. ?电子的迁移过程是扩散过程. ?Bloch-Boltzmann准经典理论在描述杂质和温度对于欧姆型导体电导的影响是成功的，它也是当前电子学基本理论之一。 第一章 绪论 1.2.4 纳米MOSFET中的新效应 第一章 绪论 1.2.4 纳米MOSFET中的新效应-新结构和新材料 第一章 绪论 1.2.4 纳米MOSFET中的新效应-Building on a strong foundation: BSIM4 第一章 绪论 1.2.4 纳米MOSFET中的新效应-Effects Captured by BSIM5 第一章 绪论 1.3 空间与时间特征尺度--与纳米电子学相关的特征尺度 固态器件的尺度从微米缩小到纳米尺度会使系统从量变引起物质性质的质变 尺度的变化导致研究内容和学科的变化 –下图1：自然与人造物体空间尺度（不同学科） –下图2：人手皮肤显微放大图 * ?两者之间并非直接对应?两者却存在一定关系 * ?两者之间并非直接对应?两者却存在一定关系 * ?两者之间并非直接对应?两者却存在一定关系 * ?两者之间并非直接对应?两者却存在一定关系 * ?注：这里的时空观是非相对论的 * ?注：这里的时空观是非相对论的 * ?注：这里的时空观是非相对论的 * ?注：这里的时空观是非相对论的 * ?注：这里的时空观是非相对论的 * ?注：这里的时空观是非相对论的 * ?注：这里的时空观是非相对论的 * ?注：这里的时空观是非相对论的 * ?注：这里的时空观是非相对论的 * ?注：这里的时空观是非相对论的 * ?注：这里的时空观是非相对论的 *