分析透明金属氧化物导电膜的专利技术展望光伏TCO玻璃发展前景.pdfVIP

工艺技术 / Processing Technology 分析透明金属氧化物导电膜的专利技术— 展望光伏TCO玻璃发展前景 文/ 河南安阳安彩高科股份有限公司研发中心 孙渝威 关丽哲 【摘 要】 具有很低电阻率和可见光高透光率的导电玻璃，已被广泛应用于光电器件、液晶显示、太阳电池、 热镜和各种平板显示器件等领域，尤其作为一种透明电极在光伏太阳电池中占着重要位置。本文介 绍了透明导电玻璃专利技术在中国及世界范围内的发展状况，通过对大量的专利信息检索、下载分 析，进行地毡式筛选，利用统计学方法和技巧，分析探究了TCO的镀膜技术、工艺状况。分析展望 了光伏用透明导电玻璃在光伏产业中的地位和前景。 【关键字】透明导氧化物电薄膜；专利技术分析；太阳电池；光伏用TCO玻璃 1 TCO玻璃技术概况 化铟中，提高了导电率，结构为复杂的立方铁锰矿，最低电阻 率达 10 -5 Ω . cm 量级，光透射率 达90% 以上。 在当今新能源、光伏产业的迅猛崛起，半导体、计算 TCO玻璃制备方法很多，目前有 磁控溅射、金属有机物 机、太阳能高科技技术日新月异飞速发展，一种新的功能材 化学气相沉积、喷雾热解、脉冲激光沉积、溶胶 - 凝胶法等。 料——透明导电氧化物薄膜随之产生、发展起来。这类薄膜 效果最佳方法是（射频）磁控溅射，该工艺已经成熟，并用于 具有禁带宽、可见光谱区光透射率高和电阻率低等优点的光 ITO 薄膜的产业化生产，但由于设备和靶材等价格较高，而且 电特性，在高效率低成本的太阳电池研究与生产中占据非常 不利于制备大面积的导电薄膜。成本更低廉的化学制备方法是 重要的位置，广泛应用于太阳电池（SOLAR CELL）、液晶 未来透明导电氧化物玻璃的制备工艺的改进方向。 显示器（LCD）、等离子显示器（PDP）、有机发光二极管 下图是几种TCO玻璃制备工艺： （OLED）发光二极管（LED）、特殊功能建筑涂层及其他光 电器件领域。 透明导氧化物电薄膜（文中简称TCO玻璃）是在平板玻 璃表面通过物理或者化学镀膜的方法均匀的镀上一层透明的 导电氧化物薄膜。氧化物包括 CdO, ZnO, ZnO: M ( M =Al, Ga, (ATO) 及其复合多元氧化物薄膜材 In, F), ITO, FTO, Sb-SnO 2 料。 TCO 有两个主要指标：一是对可见光的高透过率 (T avg • 80%), 另一个是高的导电率 (R 10 -3 Ωcm) 。透明导电膜 （TCO）玻璃不仅具有导电性，同时具有透光性，已成为新技 术和新兴工业发展的关键，是显示器件、太阳电池中是不可缺 图1：磁控溅射镀膜 少的导电薄膜，尤其作为一种透明电极广泛应用于太阳电池 上，既保证导电性能又保证透光率。 透明导电薄膜大体可以分为：金属薄膜、透明金属氧化物 O、SnO、ZnO)、 (代表In 2 3 2 O:Sn (ITO)、ZnO:In (IZO 搀杂氧化金属氧化物（主要 In 2 3 O-ZnO、CdInO等）、导电性氮化物 等)、混合氧化物（ In 2 3 2 4