精密与特种加工技术 教学课件 ppt 作者 张建华 主编 1_第九章　电子束和离子束加工.pptxVIP

03GDD9;第九章　电子束和离子束加工;第一节　电子束加工;一、电子束加工的基本原理和特点;１.基本原理;２.特点;图９-２　电子束加工设备结构示意图１—移动工作台　２—带窗真空室门窗　３—观察筒　４—抽气　５—电子枪　６—加速电压控制　７—束流强度控制板　８—束流聚焦控制　９—束流位置控制　１０—更换工件用截止阀　１１—电子束　１２—工件１３—驱动电动机　１４—抽气;二、电子束加工设备;三、电子束加工的应用;三、电子束加工的应用;１.打孔;２.焊接;３.热处理;４.电子束曝光;第二节　离子束加工;一、离子束加工的基本原理和特点;１.基本原理;２.特点;１)加工精度高，易精确控制。;２)污染少。;３)加工应力、变形极小。;二、离子束加工设备;三、离子束加工的应用;１.离子束刻蚀加工;２.离子镀膜加工;(１)离子溅射镀膜　;(２)离子镀　;离子注入是将工件放在离子注入机的真空靶中，在几十至几百千伏的电压下，把所需元素的离子注入工件表面。离子注入工艺比较简单。它不受热力学限制，可以注入任何离子，而且注入量可以精确控制。注入的离子固溶于工件材料中，含量可达１０％～４０％，注入深度可达１μｍ甚至更深。;３.离子注入加工