粒状多教材晶硅生产概要.pdfVIP

下载本文档

3
0
约1.97万字
约 6页
2019-07-18 发布于湖北
举报
版权申诉

粒状多教材晶硅生产概要.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

年月第期粒状多晶硅生产概况汤传斌 2001 6 3 -- ·29· =================================================================== ================ = 稀有稀土金属 = == ============== 粒状多晶硅生产概况汤传斌北京有色冶金设计研究总院北京 ( , 100038) 摘要阐述了粒状多晶硅生产的基本原理生产工艺以及美国公司的粒状多晶 [ ] 、 MEMC Pasadena 硅的生产情况并就粒状多晶硅生产过程中的质量控制措施以粒状多晶硅为原料生产直拉单晶硅所具 , 、有的优势以及粒状多晶硅的发展前景提出了一些看法。关键词粒状多晶硅直拉单晶硅 [ ] ; ; MEMCPasadena 中图分类号 + 文献标识码文章编号 [ ] TN304.1 2 [ ] B [ ] 1002-8943(2001)03-0029-03 氢化 + +2 (1) Na Al H =NaAlH (1) 1 概述 2 4 (2)四氟化硅生成 = +2 (2) H SiF SiF HF 2 6 4 世界上多晶硅生产的方法主要有新硅烷法和改硅烷生成 (3) SiF +NaAlH =SiH +NaAlF 4 4 4 4 良西门子法前者既可生产粒状多晶硅又可生产棒 , (3) 状多晶硅后者生产棒状多晶硅新硅烷法与改良西 , 。 (4)多晶硅生成 = +2 (4) SiH Si H 4 2 门子法相比具有反应温度较低热效率高耗电省 ,