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報告吧報告吧 研报客研报客®® [Table_Page] 行业专题研究|电子
2019 年3 月31 日
证券研究报告
[Table_Title]
广发证券 “科创”系列报告
中微半导体:半导体设备领先企业
[Tabl
分析师: 许兴军 分析师: 罗立波 分析师: 王璐
e_Author] SAC 执证号:S0260514050002 SAC 执证号:S0260513050002 SAC 执证号:S0260517080012
021 021 021
xuxingjun@ luolibo@ wanglu@
分析师: 余高
SAC 执证号:S0260517090001
SFC CE.no: BNX006
021
yugao@
请注意,许兴军,罗立波,王璐并非香港证券及期货事务监察委员会的注册持牌人,不可在香港从事受监管活动。
[Table_Summary]
核心观点:
中微半导体:半导体设备领先企业
中微半导体是领先的半导体设备企业,主要产品包括刻蚀设备、MOCVD 设备和VOC 设备,目前公司的等离子
体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从65 纳米到14 纳米、7 纳米和5 纳米的集成电路加工制造及先进封装,
公司的 MOCVD 设备在行业领先客户生产线上大规模投入量产,成为世界排名前列、国内占主导地位的氮化镓基
LED MOCVD 设备。公司主要客户包括台积电、中芯国际等企业,并已进入核心供应体系。
产业转移带来半导体设备投资红利,刻蚀设备和MOCVD 设备国产化进程加快
全球半导体市场进入增长周期,迎来新一轮投资高峰,,中国半导体消费市场的迅速发展带动中国半导体设备市
场进入快速发展期,设备的逻辑在于下游强则设备强,近年来随着半导体的发展上升到国家战略层面,以中芯国际
为代表的国产品牌这几年发展较快,带动上游设备国产化。2017 年按全球晶圆制造设备销售金额占比类推,刻蚀设
备、光刻机和薄膜沉积设备分别占晶圆制造设备价值量约24%、23%和18%;其中刻蚀设备市场呈现垄断格局,同
时中微半导体在国内刻蚀设备市场中也有突出的市场竞争力;大陆 LED 芯片厂商大幅扩产拉动 MOCVD 需求量,
中微半导体已凭借本土与成本优势已占据半壁江山。
中微半导体:刻蚀和气相外延生长技术处于世界先进水平,募投项目拓展主营产品
中微半导体从2004 年成立至今,主营产品从CCP 刻蚀设备已成长为关进 ICP 刻蚀设备和第三代MOCVD 设
备,刻蚀设备技术处于世界先进水平,在 3DNAND 芯片制造环节,公司的电容性等离子体刻蚀设备技术可应用于
64 层的量产;公司和诸多一流的LED 外延片厂商公司紧密合作,MOCVD 设备也已在全球氮化镓基LED MOCVD
市场中占据主导地位;公司本次募集资金运用均围绕主营业务进行,项目总投资 10 亿元,预计募集资金投资额 1
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