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激光与光电子学进展
51, 050606(2014) Laser Optoelectronics Progress ©2014《中国激光》杂志社
聚合物微腔的探针型光纤法布里-珀罗干涉仪传感器
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杨先辉 张轩宇 万之套 刘镇领 杨 皓 于永森
1 中国石油集团渤海钻探工程有限公司博士后科研工作站，天津300457
2吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,吉林 长春 130012
3 中国石油集团渤海钻探工程有限公司,天津300457
摘要 设计了一种在单模光纤末端涂覆聚二甲基硅氧烷(PDMS)形成聚合物微腔的探针型光纤法布里-珀罗干涉仪
传感器（PFFPI），并对其折射率(RI)和温度传感特性进行了研究。其折射率和温度测量分别是基于消光比变化和波
长漂移进行的，同时着重对这个器件的与众不同的折射率传感特性进行了理论分析，该理论分析可用于传感器的设
计。传感器同时具有比较高的折射率灵敏度和温度灵敏度，在折射率为1.3625～1.4206的范围内折射率灵敏度为-
180.359dB/RIU(RIU表示折射率单元)，在温度为25 ℃~60 ℃的范围内温度灵敏度为355.28pm/℃。该传感器具有体
积小巧和生物兼容性良好等优点，与传统光纤传感器相比其更具优势的应用就是生化活动的检测，如组织培养等。
关键词 传感器；光纤传感器；光纤法布里-珀罗干涉仪；聚合物微腔；聚二甲基硅氧烷；探针型；高灵敏度
中图分类号 TN253 文献标识码 A doi:10.3788/LOP51.050606
PolymerMicro-CavityBasedProbeTypeFiberFabry-Perot
InterferometerSensor
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YangXianhui ZhangXuanyu WanZhitao LiuZhenling YangHao YuYongsen
1Post-DoctoralResearchCenterofCNPCBohaiDrillingEngineeringCompanyLimited,Tianjin 300457,China
2StateKeyLaboratoryonIntegratedOptoelectronics,CollegeofElectronicScienceandEngineering,JilinUniversity,
Changchun,Jilin 130012,China
3CNPCBohaiDrillingEngineeringCompanyLimited,Tianjin 300457,China
Abstract A polymer micro-cavity based probe-type fiber Fabry-Perot interferometer is demonstrated by
coatingPDMSattheendtipofthesinglemodefiber,atthesametime,therefractiveindex(RI)andtemperature
sensing characteristicsofthe sensorare also investigated.The refractive index and temperature sensing are
based on extinction ratio measurement and wavelength shift mea
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