数显卡尺的原理.pdf

数显卡尺的原理 一、容栅测长概述 容栅式测长的主要(核心)部分是容栅传感器，容栅传感器是国外70～80 年代研制出的一种新颖、大位移传感器， 当安装在不同的设备上时可以构成不同的测长仪器。现已成功地在量具（如电子数显卡尺、千分尺）、量仪（如高度仪、 坐标仪）和机床数显装置（如机床行程测量）等方面得到应用。 主要特点：测量精度高，达5mm，量程大，达1m。 二、容栅传感器定义 容栅传感器是一大类变面积原理的电容传感器，它的电极不止一对，电极排列呈梳状，故称为容栅传感器。具有 三大优点： 1、为同组中有多个电极或多个电极并联，极大地提高了灵敏度； 2、一个大极距内有多个发射电极，可细分，实现小位移测量；在定尺上有多个大电极，可计数，实现大位移测量； 3 、由于增加了反射电极，通过它的电容耦合和电荷传递作用，使得传感器的活动部分（动尺）与测量线路之间没 有活动的引线。 三、容栅传感器的基本类型及工作原理 容栅传感器可实现直线位移和角位移的测量，根据结构形式，容栅传感器可分为三类： 1．直线形容栅传感器（长容栅） 整个传感器由两组条状电极群相对放置组成，一组为动栅，另一组为定栅；动栅和定栅通过静电耦合来实现其 位移的测量。