光电仪器原理与设计第7章 标准器.pptVIP

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* 横向莫尔条纹的探测 待探测信号 由于几何遮挡产生的  周期性变化光强信号 理想:三角波 实际: 接近正弦波 * 光闸莫尔条纹的探测 * 几何式光栅读数头 直读式 光栅周期大于0.01 mm,分辨率较低 透射式 反射式 * 几何式光栅读数头 镜像式 透镜起转像作用,产生相对运动,灵敏度提高一倍 透射式 反射式 * 几何式光栅读数头 调相式 主光栅与基准光栅参数相同 主光栅运动导致光电接收元件1与2的输出信号不同相 通过测相测位移,提高分辨率 t I 主光栅初始位置 1 2 t I 主光栅被测位置 1 2 * 光栅衍射的特点 是否有明显的衍射? 光栅周期 10倍光波长 光栅周期 ~ 光波长 光栅相位移动定理 光栅相对入射光沿垂直栅线方向移动Dx m级衍射光相位变化Dj Dj = 2mp Dx/d j j + Dj ?无明显衍射 ?有明显衍射 Dx * 莫尔条纹的衍射光学解释 C=d10?m 光栅方程 sin? = λ /C 对称衍射 * 莫尔条纹的衍射光学解释 三部分相位变化 光程差(Optical path difference) 通过扫描光栅 y 测量基准移动产生相移 W 光栅相移定理 * 莫尔条纹的衍射光学解释 左侧第一个探测器 红光:透0级?反+1级?透0级 相位变化W +2y 绿光:透+1级?反?1级?透+1级 相位变化? W 相位差 2W +2y 衍射级次代数和相等的光束产生干涉 光栅相移定理 * 莫尔条纹的衍射光学解释 衍射级次代数和相等的光束产生干涉 测量基准匀速移动,相位差W线性变化,探测器探测到按正弦规律变化光强信号 光栅相移定理 粗光栅v.s.细光栅 横向莫尔条纹      ? 衍射莫尔条纹 * * 衍射式光栅读数头 分光式 在不同衍射方向上探测 透镜2将不同衍射方向的光会聚到光电接收元件平面上不同的点 光电接收元件间距 = 透镜2焦距 ? 衍射光束偏离光轴角度 分辨率和精度较高 * 判向 目的:判别光栅移动方向,测量往复运动位移大小 方法:判向电路 细分 目的:提高分辨率 方法 减小光栅周期 电子细分 移相细分 光栅尺的信号处理 * 光栅尺信号处理:判向 原理 获取相位相差p/2的两个信号 相对超前或落后表明运动方向 信号获取方法 几何式:探测器相距B/4放置 衍射式:设计扫描板,  使得 信号处理电路 判向电路 几何式 信号超前或落后 t I 参考 超前 落后 正向 反向 * 判向电路 u1?-计数方波;Ua-计数脉冲; Ub-反向计数方波;   Uc-反向计数脉冲; u2?-门控方波;Y1, Y2-加/减计数 与门 * 判向电路各点信号 u2? u1? Ub Ua Uc 加 减 反向 正向 u2? u1? Ub Ua Uc 加 减 * 光栅尺信号处理:细分 几何式移相细分 增大光栅对之间的距离 使信号接近正弦 在相距 B/4 的位置放置探测器 四步法移相细分 * 衍射式移相细分 在聚光镜焦面上不同衍射级次位置放置光电元件 设计扫描板使得 由三步法可求的相应相位 光栅尺信号处理:细分(Subdivision) * 绝对测量与增量测量 绝对式长光栅尺的光栅 增量式长光栅尺的光栅 * * * * 米定义复现的两种方法: 1。利用推荐的8种稳频激光器,认为波长时准的,其他的激光器与之比较。拍频测量。现在只有波长稳定都可以作为标准 2。测量平面电磁波频率f ,利用波长=光速/f 3。测长时修正:折射率+/-10-7; 衍射效应+/-10-9(实际光波受光学元件几何尺寸限制; 引力场修正10-12 波长为尺子。 两个探测器分别测量两个波长的干涉信号,当连续移动干涉仪的测量镜,可以找到两种脉冲正好重合的位置,分别记录相邻的这样两个位置间两个接收器的脉冲数,可以得到两种波长整数干涉级次m1和m2之比,小数部分为零。由此可求出波长之比。 比对,拍频测量波长。(国际比对) 用干涉仪测量量块 第七章标准量与标准器 * 第七章 标准量与标准器 第一节 计量标准概述 第二节 标尺与度盘 第三节 计量光栅 第四节 光学编码度盘 第五节 光波长 * * 第一节 计量标准概述 什么是标准器? 长度计量 标尺 量块 光波长 第一节 计量标准概述 长度基准的沿革 * 古埃及“腕尺” 法老的小臂拐肘到中指尖之间的距离 古中国“寸” 布指知寸,布手知尺,舒肘知寻 英国“英寸” 3粒圆而干的大麦粒一个接一个排成的长度 阶段① 以人体或自然环境 为基准的实物标准 * 第一节 计量标准概述 1791年法国“档案米” 经过巴黎的地球子午线周长的1/4×10-8为米 并制成铂质米原器 阶段② 基于自然量的 人造实物标准 1889年国际计量大会 “国际米原器” 恒温恒湿环境下的铂铱合金米尺 (

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