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德崧股份有限公司 CARBON FILTER 內容 AMC的來源與分類 AMC之影響 濾材種類與形式 濾網種類 考慮事項 檢測與監測 AMC : Airborne Molecular Contamination 無塵室的AMC：來源 製程化學品、反應副產物 溶劑 酸 鹼 清淨室物質的outgasing 人員：氨、硫化物 災害：溢出的化學物質 外部空氣： 循環空氣： SEMI F21-95 分類 Acid Base Condensable Dopant ACID 一種腐蝕性物質其化學反應性質為電子接受者 HF(Hydroflouric Acid)氫氟酸、 HNO3 （ Nitric Acid ）硝酸、H3PO4（Phosphoric Acid）磷酸… 無塵室濃度 - ACID BASE 一種腐蝕性物質其化學反應性質為電子提供者 Ammonia、NMP、Methylamine 無塵室濃度 - BASE CONDENSABLE 一沸點高於室溫的物質（非水）於大氣壓力下可凝結於清潔表面 Hydrocarbons VOC、 DOP 無塵室濃度 - CONDENSABLE DOPANT 一化學元素會改變半導體原料的電性 Boron（硼）、Phosphours（磷）Arsenic（砷） 無塵室濃度 - Dopant AMC之影響 T-topping of resist by organic