第3章光电检测技术第4节.pptVIP

* 3.4.2 激光衍射测试方法 ③ 分离间隙法 P1点出现暗条纹的条件为 同理 P2点出现亮条纹的条件为 1 θ1 3 2 A’1 θ2 A1 L b z A P1 xk1 xk2 P2 分离间隙法原理图 * 3.4.2 激光衍射测试方法 ③ 分离间隙法 对同样级次的暗点，k1=k2 * 3.4.2 激光衍射测试方法 ③ 分离间隙法 狭缝的两个棱边不在同一平面上导致衍射图样出现不对称。在离棱边较近的方向上条纹间距增大。 一定存在 * 3.4.2 激光衍射测试方法 薄膜材料表面涂层厚度测量 ：使用分离间隙法 ③ 分离间隙法 * 3.4.2 激光衍射测试方法 ④ 互补测量法 激光衍射互补测量法的原理是基于巴俾涅(Babinet) 定理。 两个互补衍射屏，用平面光波照射时，它们产生的衍射图形的形状和光强完全相同，仅位相差为180度，即亮条纹的位置和暗条纹的位置相反，这就是Babinet互补定理。 * 3.4.2 激光衍射测试方法 ④ 互补测量法 对各种细金属丝、薄带的尺寸进行高精度的非接触测量。 * 3.4.2 激光衍射测试方法 ⑤ 爱里斑测量法 爱里斑测量法基于圆孔的夫琅和费衍射原理。 屏上各级衍射圆环的半径 为暗纹 为亮纹 * 3.4.2 激光衍射测试方法 ⑤ 爱里斑测量法 在测量中应取较高级的环纹，才有利于提高准确度。 * 3.4.2 激光衍射测试方法 ⑤ 爱里斑测量法 用爱里斑测量人造纤维或玻璃纤维加工中的喷丝头孔径 被测件的运动保证每个孔顺序通过激光束。不同喷丝孔的直径为10～90微米。激光束照射到被测孔上，通过孔以后的衍射光束由分光镜分成两部分，分别照射到光电接收器1和2上。 Click to edit company slogan . LOGO C3 光电检测技术 理学院 宋旸 * * C3 光电检测技术 3.1 光电直接检测技术 3.2 光电外差检测技术 3.3 激光干涉测试技术 3.4 激光衍射测量技术 * 激光衍射测量技术 4 3 光电检测技术 * 3.4 激光衍射测量技术 光波在传播过程中遇到障碍物时，会偏离原来的传播方向，绕过障碍物的边缘而进入几何阴影区，并在障碍物后的观察屏上呈现光强的不均匀分布，这种现象称为光的衍射。 惠更斯的解释（1690） 波前上的每一点都是一个次级扰动源，发出球面子波，这些子波的包络面就是新的波前 问题：不能确定光波通过障碍物后沿不同方向传播的振幅 菲涅尔的补充（1818） 所有子波来自同一波前，所以，后一时刻的波前应是所有子波相互干涉的结果—惠更斯-菲涅尔原理 S * 3.4 激光衍射测量技术 1972年加拿大国家研究所的T．R．Pryer提出了激光衍射测量方法。 激光出现后，由于它具有高亮度、相干性好等优点，使光的衍射现象在测试技术中得到了实质性应用。 激光衍射测试技术是一种高准确度、小量程的精密测量技术，应用比较广泛。 * 3.4 激光衍射测量技术 通常把衍射现象分为二类： 1）菲涅耳衍射，光源和观察屏（或二者之一）离开衍射屏距离有限，又称为近场衍射； 2）夫琅和费衍射，光源和观察屏距离衍射屏都相当于无限远，因而又称为远场衍射。 菲涅耳衍射 夫琅和费衍射 * 3.4 激光衍射测量技术 3.4.1 激光衍射测试技术基础 3.4.2 激光衍射测试方法 * 3.4.1 激光衍射测试技术基础 夫琅和费衍射的计算比较简单，特别是对于简单形状孔径的衍射，通常能够以解析形式求出积分，并且夫琅和费衍射是光学仪器中最常见的衍射现象。激光衍射测量的基本原理是利用激光的夫琅和费衍射。 ① 单缝衍射 ①-1 夫琅和费衍射实验装置 b θ L1 L2 S Pθ P0 单缝夫琅和费衍射的实验装置 * 3.4.1 激光衍射测试技术基础 ① 单缝衍射 ①-2 单缝夫琅和费衍射强度分布 用振幅矢量法或衍射积分法都可以得到缝宽为b的单缝夫琅和费衍射光强分布表达式： 其中 b θ L1 L2 S Pθ P0 单缝夫琅和费衍射的实验装置 * 3.4.1 激光衍射测试技术基础 ① 单缝衍射 ①-2 单缝夫琅和费衍射强度分布 1 0.047 0.017 单缝夫琅和费衍射的相对光强分布 * 3.4.1 激光衍射测试技术基础 ① 单缝衍射 ①-3 单缝测量的基本公式 易知，衍射条纹平行于单缝方向。当 ，且k取整数时，出现一系列暗条纹。利用暗条纹作为测量指标，就可以进行计量。 当θ不大时 因此缝宽b可以写成 a b L xk θ 激光 b) xk θ I0 L 观察屏 参考物 被测物 激光 b a) 衍射测量原理图 * 3.4.1 激光衍射测试技术基础 ① 单缝衍射 ①-3 单缝测量的基本公式 利用被测物与参考物之间的间隙所形成的远场衍射可以实现测量。 当被测