传感器原理及工程应用压电式传感器.pptVIP

1880年，居里兄弟(P.Curie,1859—1906；J.Curie,1855—1941)发现晶体的压电效应。 电介质在压力作用下发生极化而在两端表面间出现电位差的性质。1880年法国人P.居里和J.居里兄弟发现石英晶体受到压力时，它的某些表面上会产生电荷，电荷量与压力成正比；称这种现象为压电效应；具有压电效应的物体称为压电体。居里兄弟还证实了压电体具有逆压电效应，即在外电场作用下压电体会产生形变。压电晶体的对称性较低，当受外力作用产生形变时单胞中正负离子的相对位移使得正负电荷中心出现不相等的移动，导致晶体发生宏观极化；而晶体表面电荷密度等于极化强度在表面法向上的投影，故晶体受压力形变时表面出现电荷。 图6-5（a）是两个压电片的负端粘结在一起，中间插入的金属电极成为压电片的负极，正电极在两边的电极上。从电路上看，这是并联接法， 类似两个电容的并联。所以，外力作用下正负电极上的电荷量增加了1倍，电容量也增加了1倍，输出电压与单片时相同。 图6-5（b）是两压电片不同极性端粘结在一起， 从电路上看是串联的，两压电片中间粘接处正负电荷中和，上、 下极板的电荷量与单片时相同，总电容量为单片的一半，输出电压增大了1倍。 SAW气敏传感器的敏感机理随吸附膜的不同而不同。当薄膜是绝缘材料时,它吸附气体引起密度的变化,进而引起SAW延迟线振荡器频率的偏移;当薄膜是导电体或金属氧化物半导体膜时,主要是由于导电率的变化引起SAW延迟线振荡器频率的偏移。目前选择性的吸附膜主要有三乙醇胺薄膜（敏感SO2）、Pd膜（敏感H2）、WO3（敏感H2S）、酞箐膜（敏感NO2）等。 6-8 解：系统灵敏系数K等于传感器灵敏系数与电荷放大灵敏度乘积，即K=2.5X80=200mV/g 系统灵敏系数 报警器的电路框图如图6-15所示。使用时传感器用胶粘贴在玻璃上，然后通过电缆和报警电路相连。为了提高报警器的灵敏度，信号经放大后，需经带通滤波器进行滤波，要求它对选定的频谱通带的衰减要小，而频带外衰减要尽量大。由于玻璃振动的波长在音频和超声波的范围内， 这就使滤波器成为电路中的关键。只有当传感器输出信号高于设定的阈值时，才会输出报警信号，驱动报警执行机构工作。 玻璃破碎报警器可广泛用于文物保管、贵重商品保管及其它商品柜台保管等场合。 图6-15 压电式玻璃破碎报警器电路框图 SAW振荡器 （六）声表面波（SAW）传感器 SAW传感器的基本原理是,在压电材料表面形成叉指换能器,构成SAW振荡器或谐振器,适当设计SAW振荡器或谐振器,使其对微细的待测量敏感。一般是使待测量作用SAW的传播路径,引起SAW的传播速度发生变化,从而使振荡频率发生变化,通过频率的变化检测待测量。由于是频率输出,很容易转换成数字形式,有利于高精度测量与计算机接口。 SAW叉指换能器结构 Elements of a SAW delay line-based sensor Inter digital Transducer, IDT SAW延迟线型传感器元件 SAW:声表面波 SAW实例： 气敏传感器的原理结构 通常SAW传感器的基底材料可采用LiNbO3（铌酸锂 ）、ZnO、石英等,也可以用单晶硅作膜片,在其上面形成压电薄膜。 声表面波 压电式传感器在测量低压力时线性度不好，这主要是传感器受力系统中力传递系数为非线性所致，即低压力下力的传递损失较大。 为此， 在力传递系统中加入预加力，称预载。这除了消除低压力使用中的非线性外，还可以消除传感器内外接触表面的间隙，提高刚度。 特别是，它只有在加预载后才能用压电传感器测量拉力和拉、 压交变力及剪力和扭矩。 6.2 压电式传感器测量电路 6.2.1 压电式传感器的等效电路 由压电元件的工作原理可知，压电式传感器可以看作一个电荷发生器。同时，它也是一个电容器， 晶体上聚集正负电荷的两表面相当于电容的两个极板，极板间物质等效于一种介质， 则其电容量为 (6-4) ＋＋＋＋ ―――― q q 电极 压电晶体 Ca (b) (a) 压电传感器的等效电路 式中： A——压电片的面积；  d——压电片的厚度；  εr——压电材料的相对介电常数。 因此，压电传感器可以等效为一个与电容相串联的电压源。 如图6-7（a）所示，电容器上的电压Ua、电荷量q和电容量Ca三者关系为 压电传感器也可以等效为一个电荷源。 如图6-7（b）所示。 ε0:真空介电常数 图6-7 压电元件的等效电路 （a） 电压源; （b） 电荷源 压电传感器在实际使用时总要与测量仪器