蒸镀机操作流程.docVIP

E-Gun操作流程 STEP 1 : 使用前先檢查: 側邊四台除濕機倒水 管線有無冷凝水如有冷凝水則要擦乾防止漏電 CP(cryo pump)溫度10K 腔體溫度37度 小白板上是否有異常狀況通知或是有他人尚在使用 使用紀錄本，確認上一個使用者的使用情形 冷卻水溫度在23度正負3度之內 氮氣瓶，確認是否仍有存量 STEP 2: 破真空 進入製程(密碼)?抽氣流程?按下V4(反黑即代表閥門打開) 開氣瓶N2瓶身有黃色的字(綠色管線，上有標註為E-gun)，總閥先開(右手定則:逆時針-開)，流量閥開至藍線刻度以內 破真空至7*102 torr 即可開腔門 關氣瓶，並填寫紀錄本 STEP 3: 清潔腔體 使用wafer夾清潔側擋板及上面的擋板(刮除附著金屬) 氣槍與吸塵器共同清潔 使用酒精與無塵紙擦拭腔體，擋板(O ring以及腔門與O ring接觸的位置不可擦避免將真空油膏擦掉) STEP 4 : 放置靶材與試片 破片確實固定在載片上(黏的方式及真空膠，銅膠使用方式) 石墨墊片、坩鍋、靶材對應放置(先去化學室防潮箱借靶材及登記，注意坩鍋內靶材量是否足夠本次製程) 設定使用金屬種類、欲鍍厚度等參數 預轉坩鍋檢查是否會卡鍋、擋板控制檢查、蒸鍍源選擇檢查、石墨震盪片 關腔門(系統自動抽真空:先MP抽至10-3 torr，再CP往下抽至2*10-6torr ) 抽至CP啟動時可離開請