电子显微镜原理培训课件.ppt

二、透射电子显微镜的原理和结构 TEM利用电磁透镜对透过样品的电子束进行成像、放大，反映样品的内部结构。 电子光 学系统 照明系统： 成像放大系统 观察记录系统 真空系统 电子系统：高压发生器、灯丝加热电源、 透镜稳流电源、安全自控电路、 计算机控制电路 电子枪 聚光镜 样品室 物镜 中间镜 投影镜 与扫描电镜有关的信息 三、扫描电镜的工作原理和结构 电子束打到样品上，产生二次电子，通过对二次电子的收集，反映样品的表面形态。 生物样品 1.扫描电镜的工作成像原理 ＆ 电子枪发射电子，在加速电压作用下进行加速。 ＆ 经聚光镜汇聚成直径为3-10nm的电子探针。 ＆ 电子探针打在样品表面，表面原子外层的电子 被打落形成二次电子。 ＆ 二次电子信息被收集后，被转换成带有样品 信息的电压信号，变成可供观察和拍摄的影像。 由于二次电子产生的多少与电子束入射角度及样品表面的起伏有关，所以在荧光屏上会得到样品表面形貌的立体图像 2.扫描电镜的基本结构 电子光学系统（镜筒） 信号检测及显示系统 电源和真空系统 四、扫描电镜与透射电镜比较 结构：