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Stepper 機台基本原理 及操作簡介 FAB8A / PMA / PHOTO 黃郁斌 2/15/2000 * 大綱 1: PHOTO 流程 2: 曝光原理 3: 機台簡介 4: FAB 流程 5: 機台操作 6: 晶片傳送和機台異常 Reset 7: 機台 Alarm 處理 8: 不易對準處理 9: 測機注意事項 10: Semi-Auto 及操作異常相關處理程序 11: 名詞解釋 1.PHOTO 流程 STEPPER 顯影機 光阻機 SEM CD AA C D 量 測 A A 量 測 曝光圖形 ADI 2.曝光原理 - PHOTO = 照相 合歡山連峰照 對準機曝光 照相機成像 PHOTO 黃光 白光 暗房 紅光 光譜 I-line DUV 2.曝光原理 -為什麼是黃光 3.機台簡介 DUV: 0.25um 以上可生產機台, 共 5 台 - EX14C: E11-2, E11-3, E11-4, E12-1 - EX12B: E8-7 I-line(5x) : 0.35um 以上可生產機台, 共 15 台 -I14: I11