Pink微波等离子清洗介绍.pdfVIP

微波等离子清洗在先进工业领域中的应用 Microwave Plasma Applications in Advanced Industrial Field 1 等离子体的定义 Plasma Basics • 定义1: “包含足够多的正负电荷数目近 于相等的带电粒子的物质聚集状态。 金佑民，樊友三，“低温等离子体物理基础”，大学出版社，1983年 • 定义2: “等离子体是由大量带电粒子组 成的非凝聚系统。” 国家自然科学基金委，“等离子体物理学发展战略调研报告”，1994年 2 等离子体 Plasma Particles electrons ions neutrals radicals excited particles photons 等离子体（Plasma）- 物质第四态 plasma e r gaseous u t a r e p    m  e   t   liquid    solid 自然界的等离子体 Natural Plasma 星云 极光 低压等离子体 Principle of Low Press