即时动态热处理超细铜线焊线接合键结机制及影响要素研究.pdfVIP

行政院國家科學委員會專題研究計畫 成果報告 即時動態熱處理超細銅線銲線接合鍵結機制及影響要素研 究 研究成果報告(精簡版) 計 畫 類 別 ： 個別型 計 畫 編 號 ： NSC 99-2221-E-214-012- 執 行 期 間 ：99年08月01日至 100年07月31日 執 行 單 位 ： 義守大學機械與自動化工程學系 計 畫 主 持 人 ： 徐祥禎 計畫參與人員： 碩士班研究生-兼任助理人員：韓承均 碩士班研究生-兼任助理人員：曹書齊 報 告 附 件 ： 出席國際會議研究心得報告及發表論文 處 理 方 式 ： 本計畫可公開查詢 中 華 民 國 100 年 09月 19 日 行 理度 類 NSC 99 2221 E 214 012 行 2010 年 8 1 2011 年 7 31 行 祥 參 類精 陸 理 列 列立 利 年年 100 年 9 15 1 理 度 料 理度 1.料(Material Process) (1). (Oxidation Control) (2).參數(Process Control) (3).(Aluminum Pad Squeeze) (4).離(Peeling Cratering) (5).金 (Influence of IMC layer) 2.(Finite Element Analysis) (1). (CUP Damage) (2).度 TCT 度 MSL (3). -- (1mil ) 95%N 5%H EFO 2 2 力 力狀 FAB(Free Air Ball) FAB (Heat Affected Zone HAZ) HAZ度 TSZ(Thermal Stable Zone) 不 FAB HAZ TSZ FAB度 狀 (column-like) HAZ粒 度(kink height) 率力 量 率 金例 度 IMC 金 IMC IMC 不利 度 (數 ) 度 (real time)理 降 了度 了 參數 力 率FAB 勞 N 95%N 5%H 力 2 2 2 若 來 參數料 參數行 立 理度行 度說 料 例度料(99.99% 4N 99.995% 5N5) ( 粒) 度 參數行 layout packaging 參 1. 料參數參數