TFT-LCD用玻璃基板简介.pptVIP

TFT用玻璃基板的製造流程 Float 法 原料溶解 薄板成型 徐冷 切斷(素板) 切斷(基板) 面取 梱包出貨 檢查 洗淨 片面研磨 Float 素板的有效幅: 2500mm 流向 2500 mm 470 650 830 900 370 550 650 1100 平板玻璃的研磨 佔玻璃的成本比例大 TFT之Array工程使用拋光面 以AN635為例 550 x 670 x 0.7 mm 研磨 3200日元/枚 550 x 670 x 0.7 mm 無研磨 2200日元/枚 TFT用玻璃基板的種類與物性 玻璃規格 玻璃的規格要求項目 外觀 寸法 組成 熱收縮度 特性值 New AN Design Objectives Higher Strain Point Lower Thermal Expansion Lower Density Higher Young’s Mldulus Asahi Float Process capable AN100與AN635之規格比較 組成比較: M: Al, B A: Mg, Ca, Ba, Sr R: Na, K AN100與AN635之規格比較 * TFT-LCD 壹. 概述TFT-LCD製程 貳. 玻璃的簡介 參. 玻璃的性質 肆. TFT-LCD用玻璃基板特性要求 伍. 今後TFT-LCD用玻璃基板的動向 陸. 平板玻璃製程 柒. 玻璃規格 TFT-LCD用玻璃基板簡介 概述TFT-LCD製程 TFT-LCD製程 ARRAY 半導體製程 CELL 藝術的製程 MODULE 人力與生產管理的製程 ARRAY製程 洗淨工程 成膜工程 微影工程 蝕刻工程 剝膜工程 製程整合 環境技術 解析工程 TFT 斷面結構圖 源極/汲極 透明電極層 閘極 絕緣層 半導體層 substrate 玻璃的簡介 玻璃的定義 非晶質固體 Long-range disorder 熔融液體超冷固化 Temperature Volume Crystal material Temperature amorphous material Solid Solid Liquid Liquid Volume Crystal Amorphous Unit cell 玻璃的組成物質 結網子(Network Former) 形成玻璃結構體的主要分子 此分子本身容易形成玻璃, 如SiO2, B2O3, GeO2 修飾子(Modifier) 此分子本身很難形成玻璃 用以改變玻璃結構的連結性 如鹼金屬與鹼土金屬元素 鹼金屬成分(Na2O, K2O)為助熔劑 鹼土金屬成分(MgO, CaO, BaO)賦與硬度, 剛性, 耐熱性 中間子(Intermediate) 此分子本身亦難形成玻璃 取代結網子成結構網的一部分 作用與功能介乎結網子與修飾子之間, 如Al2O3 Si O Na 玻璃的性質 玻璃的性質 玻璃的物理與化學的性質, 是由其組成決定 玻璃轉變 Temperature Volume Solid Liquid Tf: Fictive Temp. Tm: Melting Temp. Tm Tf1 Tf2 晶體 急冷玻璃 緩冷玻璃 Glass Transition Region 製程溫度(oC) 收縮率(ppm) 平板玻璃基板收縮率 粘度 液體內互相接觸兩部份, 做相對運動時, 但這些部份卻有 相互阻止對方運動的作用; 此種阻止作用, 稱為內部摩擦 而表現內部摩擦的流體 , 稱為黏性流體 物體在應力作用下, 因受力而產生應變之應變率 單位為 poise (kg/sec.m) 為工業生產操作之重要指標 玻璃的粘度 比重 玻璃的組成與比重, 經實驗後知其有加成性 因組成與退火的程度而有變 常用的黏度值 澄清溫度 將玻璃原料熔融而成熔物中, 使其氣泡消失至呈均質時 黏度: 102 Poise 此時溫度在1300~1500oC 作業溫度 適合於成形作業的黏度, 視作業方法不同而有很大的差異 液相溫度 液相安定時之最低溫度 此溫度之黏度, 依組成而有: 103 ~108Poise 此溫度之正確意義在玻璃之製造上, 關係失透而顯得重要 軟化溫度 直徑0.55~0.75mm, 長23.5cm之玻璃絲, 吊在豎爐中, 上部9.5cm處 同樣地加熱, 在其以每分鐘1 mm之速度伸長時之溫度 黏度: 4.5 x 107 Poise 另有一以玻璃棒之熱膨脹曲線, 在發生軟化變形之溫度稱之, 黏度約 1011~1012 Poise 轉變溫度 玻璃棒之熱膨脹曲線中, 玻璃