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第七讲: 真 第七讲: 真空检漏 关奎之 (东北大学) 四、标准漏孔 (接 1998 年第 2 期第 48 页) 标准漏孔是在一定条件下向真空系统内部提供已知气体流量的元件。 一般要明确这个气 流量 (即漏率) 的气体种类、温度、压力等条件。 如果不特别指明, 则指温度为 296±3K、入口压 力为 1. 01×105 P a、出口压力低于 1. 33×103 P a 的干燥空气 (其露点温度低于 248K ) 的漏率。 11 常用的标准漏孔 几种常用标准漏孔的结构如图 10 所示。 玻 璃毛细管型标准漏孔 ( 图中 a ) 是用局部拉细的玻璃毛细管制成的, 漏率为 1028～ 1027 P am 3 /s。 图 10 几种常用标准漏孔 金属压扁型标准漏孔 ( 图中 b ) 通 常 是 用 无 氧 铜 或 可 伐 管 压 制 而 成, 漏 率 为 1028～ 1026 P am 3 /s。 真 空 技 术 及 应 用 系 列 讲 座 东北大学真空工程博士点, 博士导师杨乃恒先生主持 第一讲: 真空科学的发展及其应用 李云奇 95 (2) 第二讲: 真空物理基础 张世伟 95 (3) 第三讲: 机械真空泵 (一) (二) (三) (四) (五) (六) 张以忱 95 (4)、(5)、(6)、96 (1)、(2)、(3) 第四讲: 蒸汽流真空泵 姚民生 96 (4) 第五讲: 气体捕集式真空泵 徐成海 96 (5) 第六讲: 真空测量 刘玉岱 96 (6)、97 (1)、(2)、(3)、(4) 第七讲: 真空检漏 关奎之 97 (5)、(6)、98 (1)、(2) 第 3 期关奎之: 真空检漏47玻璃铂丝型标准漏孔 (图中 c) 是利用玻璃与铂丝的不匹配封接制成的。当铂丝直径为 0. 1～ 0. 5mm ; 封接长度为 5～ 第 3 期 关奎之: 真空检漏 47 玻璃铂丝型标准漏孔 (图中 c) 是利用玻璃与铂丝的不匹配封接制成的。当铂丝直径为 0. 1 ～ 0. 5mm ; 封接长度为 5～ 10mm 时, 漏率约为 1027 P am 3 /s。 当温度改变时, 其漏率变化。 若 296K 的漏率为 qL , 296 , 则温度 T 时的漏率为 qL , T = (T ) qL , 296 (8) f 式中 f (T ) 的曲线如图 11 所示。 薄膜渗氦型标准漏孔 ( 图中 d ) 是利用 石英薄膜球泡的渗氦速率制成的, 其漏率一 般为 1025～ 1029 P am 3 /s。 由于温度对漏率的 影响很大, 使用时应当注意修正。 如果温度 T 1 时漏孔漏率为 qL , T , 使用温度 T 2 时的漏 1 率应为 E 1 1 qL , T 2 = qL , T 1 ex p [ R - ) ] (9) ( T 2 T 1 图 11 f (T ) 曲线 式中 E —— 氦在石英中的渗透激活能 R —— 摩尔气体常数。 21 标准漏孔的校准 标准漏孔的常用校准方法有定容升压法和氦质谱检漏仪比较法。 (1) 定容升压法 定 容 升 压 法 校 准 系 统 示 意 图 如 图 12 所 示。 经预抽并烘烤容积 V 后, 标准漏孔进气端 压力 p 1 1. 33×103 P a, 而V 达到极限真空。当 压力为 1. 01×105 P a 的校准气体 ( 例如 N 2 气) 经标准漏孔流进容积 V , 并 V 中压力 p 2 稳定 后, 关闭阀门 S 2 记录时间和环境温度 T , 测出 11 校准气体 21 压力计 31 机械泵 41 标准漏孔 51 真空计 61 扩