第四章 微纳制造技术_1概述.pptVIP

补充内容： 微电子工艺 第一章 微电子概述 什么是微电子学 微电子学的战略地位 晶体管的发明 集成电路的发展历史 集成电路的分类 微电子学的特点 微电子学：Microelectronics 微电子学——微型电子学，是研究，利用对微尺度下固体中电子运动的控制，实现对电磁信号进行高速处理的高度集成化的电子科学。 核心——集成电路 集成电路 Integrated Circuit，缩写IC 通过一系列特定的加工工艺，将晶体管、二极管等有源器件和电阻、电容等无源器件，按照一定的电路互连，“集成”在一块半导体单晶片（如硅或砷化镓）上，封装在一个外壳内，执行特定电路或系统功能 集成电路芯片的显微照片 64M SDRAM （华虹NEC生产） 芯片面积5.89×9.7=57mm2 ， 456pcs/w，1个IC中含有1.34亿只晶体管 沟道长度为0.15微米的晶体管 集成电路设计与制造的主要流程框架 封装好的集成电路 微电子科学技术的战略地位 微电子：信息社会发展的基石 自然界和人类社会的一切活动都在产生信息。信息是客观事物状态和运动特征的一种普遍形式，是人类社会、经济活动的重要资源。 社会的各个部分通过网络系统连接成一个整体，由高速大容量光线和通讯卫星群以光速和宽频带地传送信息，从而使社会信息化、网络化和数字化。 1980－2000年全球国民生产总值及汽车、电