全玻璃真空太阳集热管真空度测量及残气分析.docx

文章编号 : 025420096( 2006) 1 文章编号 : 025420096( 2006) 1221235206 全玻璃真空太阳集热管真空度测量及残气分析 董光军 , 朱秀珍 , 周小雯 , 殷志强 ( 清华大学电子工程系 , 北京 100084) 摘 要 : 全玻璃真空太阳集热管是接收太阳光能并转化为热能的关键部件 。将集热管开管装置与四极质谱定量 分析系统相连接 ,对新生产的 、生产后存放一段时间的以及正常使用 12a 的全玻璃真空太阳集热管进行开管实验分 析 。计算 、分析了集热管中的真空度以及残余气体成份 ,并对残余气体来源进行了分析 。 关键词 : 全玻璃太阳真空集热管 ;真空测量 ;残余气体 中图分类号 : 文献标识码 : A TB611 来测量夹层真空度 , 对于正常使用的集热管不能直 接测量其真空度 , 也无法对夹层内残余气体进行分 析 。研究的目的是建立新型的开管装置 , 寻求适合 的测量手段和方法 , 以便对新生产的集热管甚至已 持续工作十几年的集热管检测夹层真空度并进行残 气分析 。 0 引 言 全玻璃太阳真空集热管 (以下简称集热管) 20 世纪 70 年代中期研制并建成生产线1 以来 , 自 工 艺 、规格不断发展 、完善 , 性能不断提高 , 寿命逐 渐延长 。一般采取集热管外壁接真空计盲管的方式 图 1 集热管开管装置 Fig11 The opener for all2glass evacuated collector tube 收稿日期 : 2005204220 1236太阳 能学 报27 卷1 实验111 1236 太 阳 能 学 报 27 卷 1 实 验 111 开管装置 集热管因其尺寸和材料的特殊性 ,进行残气分 析时很难将其完全放入真空系统中 ,并不能轻易的 击破外壁 。如何将集热管与真空系统相连接 ,并击 破外壁是实验中面临的两大问题 。设计的开管装置 妥善的解决了上述问题 ,开管装置的结构图如图 1 。 采用橡胶圈密封的方式将集热管与开管装置相 连 ,并最终连接到四极质谱定量分析系统 。开启调 节前端为硬质合金头 ,用来破坏经表面处理的集热 管外壁 ;支撑调节用保证开管过程中集热管水平位 置稳定 ,防止操作开启调节时集热管水平位置变化 影响接口部位橡胶圈的密封性 ; 观察窗用于观察实 验中集热管外壁碎裂情况 ,实验后也可拆除观察窗 , 清除开管装置内的玻璃碎片 。 开管装置上设计了旁通装置 。当集热管夹层真 空度太差以至开管后影响四极质谱计及真空计正常 工作时 ,开启微调阀管路 ,使气体缓慢进入四极质谱 定量分析系统 ,保证检测装置正常工作 。 112 四极质谱定量分析系统 四极质谱定量分析系统包括主真空室 、排气系 统 、从大气压到超高真空的进样系统 、四极质谱计 。 主真空室全部由 1Cr18Ni9Ti 不锈钢制成 , 内表 面喷砂处理 ,可高温下长期烘烤 ,以降低表面出气 ; 其直径 Φ = 0125m ,高 H = 013m ,体积约为 01015m3 ; 主真空室下部通过 CF2150 法兰与排气装置相连 ,周 围与顶部有 6 个超高真空 (UHV) 金属法兰 ,以 CF235 国际标准法兰为主 ,并有 CF216 , CF263 , CF2100 等国 际标准 法 兰 及 专 用 法 兰 , 以 便 连 接 多 种 规 格 的 装 置 。 排气系统为机械泵 、涡轮分子泵 、溅射离子泵组 成的泵组 。涡轮分 子 泵 是 准 无 油 超 高 真 空 排 气 装 置 ,对各种气体抽速无明显选择性 ,使用维护也很方 便 ,系统采用中国科学院科学仪器厂 ( KYKX) 的 FB2 450 分子泵为主泵 ,其前级为带电磁阀的 2XZ24 型机 械泵 。 为了在分子泵停机时或在利用分子泵对准静态 及静态微量气体分析装置进行排气时仍能方便的维 持主真空室的超高真空 ,本系统还配置了沈阳教学 仪器厂 (简称沈仪) 制造的 J WC21 离子泵 。 系统示意图如图 2 。 图 2 四极质谱定量分析系统 Fig12 Quadrupole mass spectrum quantitative analysis system 113 实验步骤 实验系统实物图如图 3 。 图 3 实验系统 Fig13 Experiment system 单独工作时 ,四极质谱定量分析系统经 4h 烘烤 除气 (200 ℃烘烤除气) ,极限真空达到 10 - 7 Pa 量级 。 接开管装置后 ,受橡胶圈密封性限制 ,系统极限真空 只能达到 10 - 4 Pa 量级 。 首先对集热管外表面开管部位进行打磨 ,处理 后