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生产部员工培训系列教材-TP 流程 设备及工艺 ;课程目录;鍍膜(sputter);基板要求;F R 面定义区分;玻璃结构如下图;生产流程;F ITO特性;F ITO外观检查;5、双面POSI TANK剥离
剥离条件: 3% KOH
加热至45℃
剥离时间15 MIN
在清洗线清洗后确认是否剥离干净,清洗前用水车浸泡。
;R ITO特性;R ITO外观检查;5、双面POSI TANK剥离
剥离条件: 3% KOH
加热至45℃
剥离时间15 MIN
在清洗线清洗后确认是否剥离干净,清洗前用水车浸泡。
;MOALMO 特性;MOALMO外观检查;双面SIO2特性;SIO2 PATTERN成膜;SIO2对位检查方法;3、玻璃对位MARK位置如图1,MARK放大如图2
图1 图2
;;4、对位检查方法如
对位套合的时候,十字mark图中的4个长边,均不能被金属MASK挡住(即不能跑到方孔的外边) 。
OK NG
;SIO2成膜外观检查;PATTERN OC特性及外观;双面覆盖PET保护膜;主要缺陷样本;2、金属擦伤
图1 图2;3、SIO2掉膜
图1 图2;4、电子击伤
图1 图2
;5、另外几种缺陷
MOALMO掉膜
ITO PATTERN掉膜
OC MURA
绕射刻蚀不干净
其他;Loader;设备配置概况(以旋涂线为例); 工 艺 流 程;;;Slit Process;;;;光阻种类;玻璃基板;Exposure:曝光;;;;
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