上海交通大学-基于原创硅烷法的芯片级晶体硅制备.pptx

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背景 Background 国家政策 市场分析 竞品市场 芯片级晶体硅竞争公司多来自德国、韩国和美国 主要竞争公司 电子级晶体硅 下游市场 2017年国内晶圆片需求量 3万吨 外资企业垄断价高,国内企业纯度不够。 Wacker 德国 41% 30% 22% 5% Tokuyama 日本 Helmlock 美国 OCI 韩国 产品 Products 技术路线 石英砂 MG-Si 三氯氢硅 SiHCl3 硅棒 单晶硅 SiH4 破碎处理 改良西门子法 硅烷法 改良西门子法 化学反应加物理手段制备 硅烷法 纯化学反应制备 转化效果差 平衡转化率约10% 杂质含量高、Cl-腐蚀设备 工艺繁琐 物理加工产链长能耗大、耗损高 转化效果好 平衡转化率近100% 温度分布优化的CVD反应器 工艺简单 直接拉出单晶硅固体 抢占市场份额,利于供应小客户 千吨级成本15万/吨,达到西方万吨级别的经济性指标 技术优势 优化技术路线,打破国外垄断 提高产品纯度,降低生产成本,将售价由75万/吨降至25万/吨 专利 授权专利: 配套专利: 团队公司 Team 贝森高纯度硅科技公司 贝森高纯度硅科技公司 王训辉 运营维护 王乔炜 团队管理 朱潋滟 公共关系 长江学者 肖文德 王凯奇 技术开发 顾 湘 市场营销 公司战略 Strategy 市场营销 资金财务 Investment 风险 应对方案 资回收期3.78年 中国芯,从贝森开始! Thank you 贝 森 高纯度硅 科技公司 谢 谢

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