微系统技术基础.ppt

? ７． 微系统技术的重要性? （应用上） 随着现代科学技术的不断发展，以形状尺寸微小、操作尺度极小为特征的微系统已经成为人们从微观角度认识和改造客观世界的一种高新技术。微系统在国防、医疗、仪器检测、材料等领域，尤其在活动空间狭小、操作精度要求高、功能要求高度集成的航空航天等领域，具有广泛的应用前景。 （学科上） 　　 微系统不仅涉及到微电子学、微机械学、微光学、微动力学、微流体力学、微热力学、材料学、物理学、化学和生物学等广泛的学科领域，而且涉及到材料、设计、制造、控制、能源直到检测、集成、封装等一系列技术环节。微系统技术的发展以上述学科和技术为基础，反过来也将带动相关学科和技术的发展。此外，微系统技术还有望成为研究纳米技术的重要手段和纳米技术产业化的桥梁。 　　　因此，微系统技术曾被列为20世纪末10大关键技术之首，并受到工业发达国家的高度重视。如: 欧洲的尤里卡计划明确提出将微系统技术作为一项重要内容，并在法德两国组织实施；美国国会也把微系统技术研究作为21世纪重点研究的学科之一；日本通产省已于1991年启动一项为期十年的微机械研究计划。在我国，微机械与微细加工技术的研究也得到许多部门的重视，国防科工委已将微型惯性测量组合MIMU等作为微系统研究的重点；国家科委、国家自然科学基金委员会也都将微机械与微细加工技术列为重点发展方向之一。 微系统技术作为21世纪产业技术的重要基础和重要支柱之一，必将对新世纪社会进步产生深远的影响，这是由其固有的优势决定的。首先，随着世界人口的增加和生活水平的提高，对地球自然资源的需求量越来越大，而自然资源的总量是有限的，因此如何节约利用资源成为人类面临的一大挑战，而以各种应用系统和加工系统的微小化为指向的智能微系统技术正是有效利用资源和空间的主要手段；在另外一个方面，环境问题日益严重，减少垃圾产生和垃圾无害化处理一样成为重要课题，而微系统技术的发展和应用在减少垃圾产生量方面的作用是极其重要的。? 学习教材p20-29： 汽车中的应用等 微系统技术基础 教材：MEMS和微系统----设计与制造 （徐泰然著 机械工业出版社 04年1月第一版） 上课时间: 每周1下午6、7、8学时 教室: 力学二楼四层多媒体教室 实验时间: 待定 实验地点: 力学三楼二层和地下一层 主要参考书： 1．Fundamentals of Microfabrication, by M. Madou, CRC Press, 1997. 2．Micromachined Transducers Sourcebook, by Gregory T. A. Kovacs, McGraw-Hill Press, 1998. 3. 微加工和微机械电子系统，江刺正喜 藤田博之 五十岚伊势美 和杉山进，培风馆，1992年。 4.Methodology for the modeling and simulation of microsystems, by Bartlomiej F. Romanowicz, Kluwer Academic Publishers, 1998? 5．微机械与微细加工技术，苑伟政 马柄和，西北工业大学出版社，2000年 有关的参考论文源： ? 1．Journal of Microelectromechanical Systems; 2． Sensors and Actuators 3． Journal of Micromechanics and Micrengineering 4．? Applied Physics Letter 5．? Journal of Vacuum Science and Technology B 6．? Japanese Journal of Applied Physics 7．? Review of Scientific Intruments 8． Proceedings of IEEE Annual International workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS Workshop) 9．? Digest of Technical Papers in International Conference on Solid State Sensors and Actuators (TRANSDUCERS) 10． Proceedings of the International Workshop on Microfactories 11． Proceedings of International Microproces