毕业设计氮化镓在铝酸镁钪表面生长初期的理论研究.docxVIP

氮化镣在铝酸镁铳表面生长初期的理论研究 目录 TOC \o 1-5 \h \z 摘要 I Abstract II \o Current Document 引言 1 \o Current Document 第一章绪论 3 1」氮化稼的性质 3 \o Current Document 1.2 ScAlMgO4 的性质 3 \o Current Document 1.3薄膜生长初期的重要性 4 \o Current Document 1.4计算机模拟计算 4 \o Current Document 1.5研究意义 5 \o Current Document 第二章理论基础与计算方法 6 \o Current Document 2.1密度泛函理论在第一性原理计算屮的应用 6 \o Current Document 2.1.1 Hohenberg?Kohn 定T里 7 \o Current Document 自洽 Kohn-Sham 方程 8 \o Current Document 2.2密度泛函理论屮的近似方法与濾势 9 \o Current Document 从头算 (abinito) 方法 10 \o Current Document 第三章模拟计算与结果讨论 12 \o Current Document 3」计算方法及参数设置 12 \o Current Document 3.2计算机模拟计算 12 \o Current Document 3.3结果与讨论 13 \o Current Document 3.3.1截断能与表面能 13 3.3.2吸附能与电子结构 16 \o Current Document 3.3.3阴阳离子与极性 19 \o Current Document 结论 20 致谢 错误!未定义书签。 \o Current Document 参考文献 22 氮化掾在铝酸镁铳表面生长初期的理论研究 摘要:从头研究计算氮化镣晶格匹配的衬底在ScAlMgO4外延生长的初始阶段。 ScAlMgCU表面的表面积的几何参数和电子结构已经通过密度泛函第一性原理研 究。通过不同表面的表面能与松弛计算来检验不同的表面截断能的影响。与其他 截断能相比O-Mg-O的截断能计算岀的表而能更稳定，更适合做氮化卡家的衬底。 在本文的计算中，发现其能够作为适当的表面结构。在氮化镣外延生长初始阶段 的基础上建立ScAlMgO4原子的吸附和扩散来对ScAlMgO4(0001)表面进行讨 论。根据理论研究，氮原子在表而吸附更稳定。这些发现揭示了氮化稼外延层的 生长方式，以及氮化镣与ScAlMgO4衬底间外延生长关系。在此基础上进一步计 算ScAlMgCU (0001)上氮化镣表面极性发现，氮化镣初始生长阶段主要生长由 氮极性结构组成。 关键词：氮化镣；铝酸镁铳；极性；第一原理 Theoretical study on the initial growth of gallium nitrideon the surface of magnesium scandium oxide Abstract： The initial stages of GaN epitaxial growth on lattice-matched ScAlMgOq substrates have been investigated by ab initio calculation. The geometrical parameters and electronic structure of ScAlMgOq bulk and surface have been investigated by density-functional first-principles study. The effects of different surface terminations have been examined through surface energy and relaxation calculations. The O-Mg-O termination is more favorable than other terminations by comparing the calculated surface energies. It should be accepted as the appropriate surface structure in subsequent calculation. The initial stages of GaN epitaxial growths are discuss