机械工程测试原理与技术第6章 传感器原理与测量电路.pptVIP

6.7.3 传感器的应用 (1)霍尔传感器测量位移、压力、流量 图6.38所示是霍尔传感器测量位移的工作原理图，霍尔元件放置在极性相反、磁场强度相同的两个磁钢的气隙中，当霍尔元件加恒定的控制电流时，霍尔元件输出电势与磁场强度B成正比。若改变霍尔元件与磁钢的相对位置，由于气隙磁场分布的变化，霍尔元件感受的磁场强度也随之发生变化，输出的霍尔电势的变化为 * 图6.38 霍尔传感器测量位移原理图 * (2)霍尔传感器测量转速 图6.39 霍尔传感器转速测量系统 * 图6.19 平面线位移型 * 图6.20 平面角位移型 * 图6.21 圆柱线位移型 * * (3)介电常数变化型 图6.22 电容液面计原理图 * 图6.23 平板变介质电容传感器原理图 * 6.4.2 电容式传感器的应用 (1)电容式压力传感器 图6.24所示为差动电容式压力传感器的结构图，图中所示为一个膜式动电极和两个在凹形玻璃上电镀成的固定电极组成的差动电容器。 （2）电容式加速度传感器 （3）差动式电容测厚传感器 * 图6.24 差动式电容式压力传感器结构图 * 图6.25 差动式电容加速度传感器结构图 * 图6.26 频率型差动式电容测厚传感器原理框图 * * 图6.27 电容式传感器结构示意图 * 6.5 压电式传感器 压电式传感器是一种基于某些电介质压电效应的无源传感器，是一种自发电式和机电转换式传感器，它的敏感元件由压电材料制成。压电材料受力后表面产生电荷，此电荷经电荷放大器和测量电路放大和变换阻抗后就成为正比于所受外力的电量输出，从而实现非电量电测的目的。 * 6.5.1 压电效应及压电元件的结构 (1)压电效应 (2)压电元件常用的结构形式 * 图6.28 压电敏感元件受力变形的几种基本形式 * 图6.29 压电元件常用的结构形式 * 6.5.2 电荷放大器 电荷放大器常作为压电式传感器测量系统中的输入电路，也可以用于电容式传感器等变电容参数的测量中。它能将高内阻的电荷源转换为低内阻的电压源，而且输出电压正比于输入电荷，因此，电荷放大器同样也起着阻抗变换的作用，其输入阻抗高达1010~1012Ω，输出阻抗小于100Ω。使用电荷放大器突出的一个优点是，在一定条件下传感器的灵敏度与电缆长度无关。 * 图6.30 电荷放大器的等效电路 * 6.5.3 压电式传感器的应用 压电式传感器用于测量力和能变换为力的非电物理量，如压力、加速度等。它的优点是频带宽、灵敏度高、信噪比高、结构简单、工作可靠和重量轻等。缺点是某些压电材料需要采取防潮措施，而且输出的直流响应差，需要采用高输入阻抗电路或电荷放大器来克服这一缺陷。配套仪表和低噪声、小电容、高绝缘电阻电缆的出现，使压电式传感器的使用更为方便。它广泛应用于工程力学、生物医学、电声学等技术领域。 (1)压电式加速度传感器 （2）压电式压力传感器 （3）压电式测力传感器 * 图6.31 压电式加速度传感器原理图 * 图6.32 压电压力传感器原理图 * 6.6 磁电式传感器 磁电式传感器是把被测物理量转换成感应电动势的一种传感器，又称电磁感应式或电动力式传感器。从电工学可知，它是利用电磁感应原理工作的。 6.6.1 磁电式速度传感器 磁电式速度传感器灵敏度高，性能稳定，中频响应好（约10~500Hz），不需要外加电源，输出为电压，可直接与通用电子放大器连接，使用方便，但尺寸、质量较大。 (1)工作原理 (2)磁电式传感器的应用 * (1)工作原理 图6.33 磁电式速度传感器工作原理 * 6.6.2 感应同步器 感应同步器是利用两个平面展开绕组的互感量随位置变化的原理制成的测量位移元件。测量直线位移的称直线式感应同步器，测量角位移的称圆感应同步器。下面以直线式感应同步器为例，说明感应同步器的结构和工作原理。 (1)感应同步器的工作原理 (2)检测电路 * 图6.34 直线式感应同步器 * 6.6.3 磁栅式传感器 磁栅是用电磁方法计算磁波数目的一种位置检测元件。磁栅位置检测装置是由磁尺、读取磁头和检测电路组成。它利用磁录音原理，将一定波长的矩形波或正弦波的电信号用录磁磁头记录在磁性标尺（磁尺）上，作为测量的基准尺。检测时用拾磁磁头将磁尺上的磁信号读出，并通过检测电路将位移量用数字显示出来或转化为控制信号输出。 (1)磁性标尺 (2)磁头 (3)检测电路 * 图6.35 磁通响应型磁头 * 6.7 霍尔传感器 6.7.1 工作原理 霍尔传感器是基于半导体材料的霍尔效应特性制成的敏感元件。图6.36所示为由锗（Ge）、锑化铟（InSb）、砷化铟（InAs）等N型半导体薄片，在短边焊有两个控制端，在长边的中点焊有两根霍尔输出端引线的霍尔元件，当将该元件置于垂直