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* 7.7.2 平面度误差的测量 (1)标准平面法 平面度误差f是指被测表面对理想平面的最大变动量,而理想平面位置应符合最小包容条件。因此可用标准平面与被测表面直接比较。例如量块、千分尺测头表面的平面度误差,可用标准平晶表面与之形成等厚干涉图像如图7.16所示。 (2)间接测量法 * 图7.16 平晶等原子干涉测量 * 图7.17 平板对角线测量法 * * * * * * * 7.7.3 圆度误差的测量 工件圆度误差对各种精密机械、精密仪器轴系的回转精度影响极大,且圆度形位公差较尺寸公差小,因此高精度回转工件测量圆度误差特别重要。 (1)圆度误差及几何特征 工件圆度误差f是指包容同一正截面实际轮廓且半径差为最小的两同心圆间距离,如图7.18所示。 (2)圆度误差的测量 * 图7.18 工作圆度误差示意图 * 图7.19 圆度仪测量示意图 * 图7.20 安装偏心后的记录图形 * 图7.21 测头安装图 * 7.7.4 表面粗糙度的测量 (1)表面粗糙度的评定基准 1)评定基准: 国家标准规定以表面轮廓的最小二乘中线作为基准线,轮廓上各点至该线偏距的平方和等于最小,如图7.22所示。 2)取样长度l和评定长度L l为限制和削弱波度对粗糙度测量的影响而规定的长度,L为充分反映各处粗糙度不均匀性而规定的包含几个取样长度的评定长度。一般: * 图7.22 表面轮廓线 * 图7.23 目估坐标法求其中线 * * (2)工件表面粗糙度的测量 根据国家标准,工件表面粗糙度即微观不平度高度参数Ra是基本评定参数, Ra称轮廓算术平均偏差,定义为,在取样长度l内轮廓偏距绝对值的算术平均值,如图7.24所示。 * 图7.24 轮廓算术平均偏差示意图 * 图7.25 电感式电动轮廓仪原理图 * 图7.26 导向块示意图 * 图7.27 触针形状示意图 * 7.8 丝杆螺旋线误差的测量 丝杆是各种精密仪器设备中最常用的高精度传递位移和转角的传动元件,反映其运动精度的参数主要是螺距误差Δp和螺旋线误差ΔL。螺距误差主要反映截面上轴向位移精度,而螺旋线误差能全面反映丝杆空间运动的精度,故对4~6级高精度丝杆主要测量其螺旋线误差。 * 7.8.1 螺旋线误差形成原理 当一个半径为r的圆柱体绕轴线作均匀回转时,刀具上一点A沿圆柱母线方向作等速直线运动,A点在圆柱表面所走轨迹,即形成一条螺旋线,如图7.28所示。 其特点是:圆柱旋转一周,A点沿轴向移动一个螺纹丝杆导程T,此时螺旋线即是圆柱表面展开图中三角形斜边。其关系是: * 图7.28 螺旋线形成示意 * 图7.29 螺旋线误差定义 出版社 理工分社 机械工程测试原理与技术(第2版) * 7.1 几何量测量技术概况 7.1.1 几何量测量的概念 几何量测量,主要是指各种机械零部件表面几何尺寸、形状的参数测量。它包括零部件具有的长度尺寸,角度参数,坐标尺寸,表面几何形状与位置参数,表面粗糙度以及由二维、三维表示的曲线或曲面等。 第7章 机械工程几何量测量 * 7.1.2 几何量测量的四大要素 对任何一个被测量对象和被测量,其测量过程都是将被测量和一个作为测量单位的标准量进行比较的过程。即采用能满足精度要求的测量器具,以相应的测量方法,将被测量与标准量进行比较,从而得到被测量的测量结果。因而任何一种测量都包括以下四大要素: (1)测量对象和被测量 (2)测量单位和标准量 (3)测量方法 (4)测量精度 * * 图7.1 长度传递系统 * 7.1.3 几何量测量系统的组成 一个自动测量系统可用图7.2表示。由图可见,几何量测量系统一般由以下6个系统组成: (1)被测对象和被测量系统 (2)标准量系统 (3)定位系统 (4)瞄准系统 (5)显示系统 (6)外界环境系统 * 图7.2 自动化测量系统 * 7.2 激光量块干涉仪计数法测量 量块是一种高精度的单值量具,可用来检定和校准量具或量仪,调整仪器零位,调整精密机床,检验零件尺寸,在制造业中有广泛的用途。量块主要精度指标是两工作面之间的中心长度、平面平行性和研合性。 (1)白光干涉瞄准系统 (2)激光干涉测长系统 (3)投影观察系统 (4)大小量块工作台系统 * 图7.3 激光量块干涉仪系统组成 * 图7.4 移相膜分光镜干涉示意图 * 图7.5 大小脉冲计数示意图 * 图7.6 量块表面干涉图像 * 7.3 激光光电光波比长仪线纹测量 线纹尺按其精度和用途的不同可以分为基准线纹尺,一、二、三等金属线纹尺,一、二等标准玻璃线纹尺,标准钢卷尺等。
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