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白皮书–PI(PhysikInstrumente)无尘室中的制造.PDF
白皮书–PI(Physik Instrumente)无尘室中的制造
-- Peter Schittenhelm 博士--
PI(Physik Instrumente)无尘室中的制造
功能和性能
普爱纳米位移技术（上海）有限公司 第 1 页，共 4 页
中国上海市张江高科技园区龙东大道 3000 号 7 号楼 106 室
电话+86 21 5187 9298，传真+86 21 6879 5909，电子邮件 info@pi.ws ，www.pi.ws
白皮书– PI(Physik Instrumente)无尘室中的制造
-- Peter Schittenhelm 博士--
Tab. 2 无尘室等级符合美国 FED STD 209E 标准
1 简介
在多个生产基地，PI 都具有在无尘室条件下进行产品制造 2 可用无尘室/
和质量鉴定的能力。这种能力还在根据市场需求不断拓展
和提高。 超洁净作业场所
1.1 标准 除了无尘室，PI 还拥有安装在无尘室内部或外部的超洁净
作业场所。与各自的环境相比，它们的目的在于进一步减
自 2001 年起，无尘室的分类不再执行 US FED STD 少特定工艺流程步骤中的颗粒污染。
209E，取而代之的是 ISO 14644-1。以下表格中列出的有
以下概览按照位置列出了现有和筹建设施。
些无尘室的分类同时基于两种标准。
每立方米颗粒
等级 0.1微米 0.2微 0.3微 0.5微米 1.0微 5.0微 2.1 PI Karlsruhe
米 米 米 米
PI Karlsruhe 是 PI 集团最大的生产和研发基地，主要工作
ISO 100,000 23,700 10,200 3,520 832
5 范围包括对基于压电陶瓷的定位系统和六足位移台领域中
的标准及定制产品的装配和质量鉴定。包括来料检测在内
ISO 1,000,00 237,000 102
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