第二章 晶向检测(之一).pptVIP

X-ray Diffraction Pattern 3. X射线的探测 4. （1）晶体结构（晶向、晶格常数、原子面间距）的测量 测量时将样品置于衍射仪的测角仪上，由x射线源发出的射线，经滤光片后得到单色x射线照射到样品上，使样品表面与入射X射线束的掠射角为θ。 4、X射线衍射仪的使用与测量 * * 第二章 晶向与晶体缺陷检测 本章内容 一、晶向检测 二、晶体缺陷检测 三、光学显微镜技术 四、电子显微镜技术 一、 晶向检测 1、硅单晶的特点 硅单晶晶体结构 a= 5.43? 硅单晶晶体结构：两套简单面心立方格子套构形成的金刚石结构。 是垂直于晶面的矢量。通常用密勒指数(h,k,l)表示。 [hkl]晶向和hkl晶面垂直 (a)[100] (b) [110] (c) [111] 2、晶向 硅单晶的不同晶面结构及其特点 {110} 二、晶向检测的常用方法 外貌观察法 光点定向法 （工业生产中常用方法） X射线衍射法 （工业生产中常用方法） （一）光点定向测试 1、光点定向测试仪原理结构图 100 110 111 硅单晶的光学定向图形 2、样品处理——腐蚀坑的显示 硅单晶 111的光学定向图形 晶向偏离度——晶体的轴与晶体方向不吻合时，其偏离的角度称为晶向偏离度。 晶锭端面与被测晶向偏离，腐蚀坑对称性就会偏离，利用这种特性可以确定晶向偏离度。 3、晶向偏离度的测试 此型仪器设有两个工作台，可同时进行操作，右侧工作台带有托板，可对圆柱形晶体进行端面与柱面定向，也可以对晶片的端面进行定向，左侧工作台可对晶片的端面进行定向，仪器精度为±30″最小读数为1″，数字显示。 4、光点定向的应用 该型定向仪仪专门用于硅单晶锭的粘结，是和多线切割机配套使用的半导体行业专用设备。 （三） X射线衍射法 X射线的波长范围一般为10-2～102?，有强的穿透能力，原子和分子的距离（1～10 ?）正好在X射线的波长范围之内，X射线对物质的散射和衍射能传递丰富的微观结构信息，因此X射线衍射是研究物质微观结构的最主要的方法。 当用波长为λ的单色x射线照射晶体时，在X射线作用下晶体的若干层原子面会发生布喇格定律衍射，应用X射线在晶体中的衍射现象，可以得到晶向、晶向偏离度、晶体的原子面间距、晶体表面缺陷等许多晶体结构信息。使用X射线衍射仪确定晶向及偏离度，具有快速、精确的特点。 1、X射线简介 衍射（Diffraction）又称为散射，波遇到障碍物或小孔后通过散射继续传播的现象。衍射现象是波的特有现象，一切波都会发生衍射现象。衍射时产生的明暗条纹或光环，叫衍射图样。 产生衍射的条件是：当孔或障碍物尺寸与光的波长相同数量级，甚至比波长还要小时，产生衍射。因此光波长越小，越容易产生衍射现象。 晶体可以作为X射线的空间衍射光栅,即当一束 X射线通过晶体时将会发生衍射；衍射波叠加的结果使射线的强度在某些方向上增强、而在其它方向上减弱；分析在照相底片上获得的衍射花样，便可确定晶体结构。 1913年英国物理学家布拉格父子(W.H.Bragg,W.L.Bragg)在劳厄发现的基础上,不仅成功地测定了NaCl、KCl等的晶体结构,并提出了作为晶体衍射基础的著名公式——布拉格定律： 2、X射线衍射及布喇格定律 当相邻原子面散射后的光程差(2dsinθ)等于入射光波长的整数倍时，即 相邻原子面散射波干涉加强，产生明显的衍射光束。 布拉格定律衍射 掠射角 X射线入射 X射线被晶格原子散射后出射 上原子层 下原子层 对于半导体硅，它具有金刚石结构，其晶格常数a＝5.43073?，其面间距与一些主要的低指数晶面(h、k、l)的关系为； (2.2)，表2.4 2? I Simple Cubic l=2dhklsin?hkl Bragg’s Law: l(Cu K?)=1.5418? BaTiO3 at T130oC dhkl 20o 40o 60o (hkl) 图2.9 X射线衍射仪的原理结构示意图 X射线衍射仪由X射线发生器、测角仪和探测记录系统3部分组成 3、X射线衍射仪的组成 X射线发生器 测角仪 探测记录系统 2. X射线测角仪 * * *