光学非球曲面器件的超精密磨削加工技术研究.docxVIP

2 76Vol 27 No 62 0 0 1 年 1 1 2 7 6 Vol 27 No 6 2 0 0 1 年 1 1 月 Nov1 2001 O P T ICAL T ECHN IQU E 文章编号 : 100221582 (2001) 0620512202 Ξ 光学非球曲面器件的超精密磨削加工技术研究 陈明君 , 张飞虎 , 董申 (哈尔滨工业大学 精密工程研究所 , 黑龙江 哈尔滨 150001) 摘 要 : 为磨削加工出高精度 、高质量的光学非球曲面器件 。详尽分析了砂轮的安装及半径等误差对零件加工精 度的影响 。设计研制出了一套非球曲面磨削系统 ,并用它进行了实验研究 。实验结果表明 :要获得高精度的非球曲面器 件 ,只有当金刚石砂轮的平均磨粒尺寸低于 10μm ,并在采用较高的砂轮线速度和较小的进给量的情况下 ,才能实现光 学非球曲面的超精密磨削加工 ,经过各种磨削参数的优化选择 ,其非球曲面最终的零件轮廓精度为 014μm ,表面粗糙度 Ra 优于 0101μm 。 关 键 词 : 超精密磨削加工 ; 光学非球曲面 ; 塑性磨削模式 中图分类号 : T G58016 ; T H706 文献标识码 : A Study on ultra2prec ision grin ding machin ing of opt ical a spheric surface CHEN Ming2jun , DON G She n , ZHAN G Fei2hu ( Harbin Instit ute of Technology , Harbin 150001 , China) Abstract : In t his paper , in order to grind Op tical asp heric surfaces wit h high qualit y and high p recisio n , install error and radius error of t he wheel t hat influence t he roughness and p rofile accuracy of machined surfaces are analyzed1 Af terwards aut hor develop s t he ult ra2p recisio n asp heric grinding system1 Finally , we performe grinding asp heric surface experiment s o n t his grind2 ing system1 The result s show t hat to obtain high accuracy and high qualit y asp heric surface , t he mean size of grains of diamo nd wheels should be smaller t han 10μm , and also t he high speed of t he wheel and small feed rate are needed1 Af ter op timizing t hese grinding parameters , t he final machined asp heric p rofile accuracy can reach 014μm and surface roughness can be less t han 0101 μm1 Key words : ult ra2p recisio n grinding machining ; op tical asp heric surfaces ; grinding in ductile mode 现的 ,其位移分辩率可达 0102μm ; 工件主轴采用气浮轴承结 构 ,其回转精度为 0105μm ; 磨头采用空气轴承空气驱动形式 , 其最高转速为 80000r/ min ,回转精度为 011μm ,工件通过过渡 1 前 言 随着科学技术的不断发展 ,非球曲面器件在航空 、航天及军 用设备中应用得越来越广泛 ,而且对其表面质量及轮廓精度要 求极高 。为了获得高精度的非球曲面零件 ,常采用超精密磨削 、 珩磨 、研磨及抛光等方法 。然而研磨 、珩磨及抛光等方法加工光 学玻璃等脆性材料时不可避免地具有生产效率低 ,加工表面的 面形精度不高等缺点 。近年来 ,超精密磨削加工技术得到了极 大发展 ,它能大大地提高零件的加工精度和加工效率1 ～3 。因 此 ,对光学非球曲面器件超精密磨削加工的研究具有重要的理