探针 浙江大学光电信息工程学系.pptVIP

微悬臂 针尖（垂直于纸面） 微悬臂材料：Si3N4； 微悬臂形状：“V”字形； 有 效 长 度：100/200 ?m； 针 尖：金字塔形； 共 振 频 率：3～120 kHz； 力 常 数：0.0006 ～ 2 N/m ? V 字 形 微 悬 臂 ? AFM的微悬臂（探针） 7-1 ? 直 条 形 微 悬 臂 ? 列阵式 微 悬 臂 ? 列阵式微悬臂获得的AFM图像 Q ? 隧道电流检测法 第一台AFM（1986，Binnig Quate）即采用此检测方法。将微悬臂（背面）作为STM的样品，测量STM针尖与微悬臂之间的隧道电流的大小，即可检测微悬臂的偏转量。 ? 特点：灵敏度高，垂直分辨率0.01 nm。 信噪比低，易吸附，不适合大气中工作。 7.5 微悬臂偏转量的检测方法 ? 光学干涉测量法 利用光学干涉的方法来探测微悬臂的偏转量。关键：检测探测光束（反射自微悬臂的尖部）与参考光束（反射自微悬臂的端部）之间的光程差。 光程差 ～ 偏转量 ～ 形貌。 ? 特点：精度最高，理论上可达0.001 nm。光纤的定位很难，操作极复杂。 ? 电容测试法 一平板电极与微悬臂构成电容器，探测电容的变化即可测定微悬臂的偏转量，原理同Gap Sensor。 ? 特点：精度较低，较难操作与对准。 从卡文迪许实验得到的启发？ 其他更好的方法？ Cantilever Basic Principle of Atomic Force Microscopy (AFM) ? 利用光束偏转法检测微悬臂偏转量(原子力)，即可获得样品的纳米结构形貌 将探针－样 品逼近到原 子力状态。 光杠杆 l PSD 激光器 样品 探针 H S L 7-2 在AFM光路中，反射光臂的设计长度约为L=10 cm，微悬臂的有效长度有l1＝100 μm和l2＝200 μm两种。当微悬臂偏转量为S时，反射光臂投射到PSD光敏面上的光斑位移为H（H1和H2），可计算出光杠杆放大比A（A1和A2）： A1＝H1 ? S＝2L ? l1＝2×100/0.1 = 2000 倍 A2＝H2 ? S＝2L ? l2＝2×100/0.2 = 1000 倍 Scanner Basic setup of an AFM DI-VEECO型AFM系统 40/70 7.6 AFM仪器系统 Dimension系列AFM系统 Brucker AFM Nanoscope II Asylum型AFM系统 韩国Xe-100型AFM * * 浙江大学研究生课程—纳米技术与系统 第七章? AFM技术及系统 浙江大学 信息学部 光电信息工程学系 2014-03-17 章海军 上期回顾： ? STM技术及仪器 ? STM的应用 ? 自己做一台STM ? 单原子操纵与纳米加工 ?9V ?9V GND 电池组合的直流电源 16V/470?f 16V/470?f 电池做的偏压电源 GND ?5V 7805 ?9V 7.1 引言 7.2 原子力作用机理 7.3 原子力显微镜(AFM)的基本原理 7.4 AFM微探针及其制备 7.5 AFM微悬臂偏转量检测方法 7.6 AFM仪器系统 第七章 AFM技术及系统 7.1 引 言 0.1 mm TEM ～0.1 nm 光学显微镜 ～0.2 ?m 1674年 列文虎克 电子显微镜 SEM ～1 nm 1932年 鲁斯卡 1982年 宾尼罗雷尔 STM 0.01 nm 扫描隧道显微镜 从扫描隧道显微镜（STM）到原子力显微镜（AFM） AFM 扫描隧道显微镜 Scanning Tunneling Microscope G. Binnig, H. Rohrer Helv Phys Acta, 1982, 55: 726-730 STM 扫描隧道显微镜STM的优点是既可以作为具有原子级分辨率的观察、测试、分析和研究工具，也可以 用作单原子操纵和纳米加工的工具。 观察测试 工具 研究工具 原子操纵 加工工具 仅适用于导体和半导体。Si、Ge等半导体尚可，与隧道电阻相比，其本身电阻仍可忽略。如样品本身电阻为1M?，而等效隧道电阻＝ 多数纳米材料为非导体！ 绝缘表面的原子和纳米结构如何检测？? 镀金？ 问题 ? STM的局限性 在扫描隧道显微镜基础上发展的SPMs 最重要最常用的是原子力显微镜AFM 1V?1nA ＝10