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洁净室系统介绍 1 目录 洁净室的定义及级别划分 洁净室的分类 洁净室的构造 洁净室的主要控制参数 洁净室主要设备介绍 洁净室的能耗和节能 洁净室的定义及级别划分 2 1.洁净室定义 洁净室是指，将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。 不论外在之空气条 件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。 洁净室的定义及级别划分 3 2.洁净室等级划分 关于洁净室的等级世界各国均有自己的规定，现在仅介绍两种应用比较普遍的划分方法，并给出ISO 14644-1及美国联邦209E对照表 ①以1ft3（立方英尺）为单位空间，直径0.5um的尘埃粒子为比较标准，即 洁净室级别 划分标准 Class 1 ≥0.5um的微粒子少于1个 Class 10 ≥0.5um的微粒子少于10个 Class 100 ≥0.5um的微粒子少于100个 Class 1000 ≥0.5um的微粒子少于1000个 Class 10000 ≥0.5um的微粒子少于10000个 洁净室的定义及级别划分 4 ②美国联邦209E以1m3为单位空间，直径0.5um的尘埃粒子为比较标准，即洁净室等级以“M”字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M3……以此类推，M字母之后的阿拉伯数字是以每立方公尺中≥0.5um的微尘粒子数目以10的幂次方表示，并取指数为之，若微尘粒子述介于前后二者完全幂次之间，则以1.5、2.5、3.5……表示 洁净室的定义及级别划分 5 洁净室的定义及级别划分 6 ISO14644-1（国际标准） 洁净室的定义及级别划分 7 各国洁净度等级近似对照表 洁净室的分类 8 洁净室的分类一般有运行状态、气流组织及用途三种依据，即， 洁净室 运行状态 气流组织 用途 空态 静态 动态 单向流 乱流 混合流 矢流 工业洁净室 生物洁净室 一般生物洁净室 生物学安全洁净室 水平单向流 垂直单向流 洁净室的分类 9 1.按照运行状态分类 ①空态已经建造完成并可以投入使用的洁净室（设施）。它具备所有有关的服务和功能。但是，在设施内没有操作人员操作的设备。 ②静态各种功能完备、设定安装妥当，可以按照设定使用或正在使用的洁净室（设施），但是设施内没有操作人员。 ③动态处于正常使用的洁净室，服务功能完善，有设备和人员；如果需要，可从事正常的工作。 洁净室的分类 10 2.按照气流组织分类 ①单向流洁净室，又称层流（Laminar）、活塞流等。 空气气流运动成一均匀直线，空气由覆盖率100%的过滤器进入室内，并由高架地板或者两侧隔墙板回风，此形式适用于洁净室等级需求较高的环境，一般洁净室等级为Class 1~100。其又可以分为两种形式，即， a.水平单向流：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外。一般在下侧污染较严重。 优点：构造简单，运行后短时间内即可变成稳定。 缺点：建造费用高，室内空间不易扩充。 洁净室的分类 11 b.垂直单向流：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得到较高的洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其他工作区域。 优点：管理容易，运转开始短时间内即可达到稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响 缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板的吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。 洁净室的分类 12 ②乱流洁净室：空气由空调箱经风管与洁净室内之过滤器（HEPA）进入洁净室，并由洁净室两侧隔离墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此形式适用于洁净室等级1000-100000级。 优点：构造简单、系统建造成本低，洁净室扩充比较容易，在某些特殊场合可并用无尘工作台，提高洁净等级 缺点：乱流造成的微粒子在室内空间漂浮不易排出，易污染制程产品。另外，若系统停止运转再激活，需要较长一段时间才能达到需求洁净度 洁净室的分类 13 自净时间：是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室室内含尘浓度达到所涉及的净化级别的时间。 换气次数=房间送风量/房间体积，单位是次/小时。换气次数的大小不仅与空调房间的性质有关，也与房间的体积、高度、位置、送风方式以及室内空气变差的程度等许多因素有关，是一个经验系数。 洁净室级别 希望自净时间/min 计算自净时间/min 1000 ≤20 15 10000 ≤30 25 100000 ≤40 30 洁净室的分类 14 ③复合式洁净室（Mixed Type ），又称混合流洁净室，为将乱流式和层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净的空气。 a.洁净隧道（Clean