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3.4.2 喷射真空泵(水喷射泵简介) 第三讲:真空获得技术 水喷射泵结构及原理 喷嘴: 作用:将高压水泵射出的水的压力能转化为动能; 喷射方式:连续喷射、旋转喷射和脉冲喷射; 喷嘴形式:锥形收缩喷嘴、圆形薄壁孔口喷嘴、多孔型喷嘴; 吸入室:和进气管相连,圆筒形,截面一般是喷嘴出口面积的6~10倍。 扩压器:包括渐缩段、喉管和渐扩段。 工作原理: 相对运动阶段; 液气混合阶段; 扩压运动阶段。 真空与过程装备系 2009年5月 3.9 热流逸现象 真空与过装教研室 概念:在分子流状态下,两个连通容器由于温度不同引起了气体流动,当气体传输达到平衡时,两个容器之间产生压力梯度的现象。 因此,对于一个各部分温度不同的真空室,即使没有气体流动。它们的压强也不相等。 2007年4月 原因: Kn1时,自由程较长,分子能够无碰撞的到达另一室; Kn1时,自由程很短,分子频繁碰撞后到达另一室; ?d ?d 第三讲:迁移现象 第三讲:迁移现象 真空与过装教研室 2007年4月 二,热流逸现象举例 单位时间通过的数量为 1、若 ,则分子由1迁移到2,若 ,则分子有2移动到1 3.9 热流逸现象 真空与过装教研室 根据热流逸现象,可以设计一个装置,利用该装置中的两室温差,可以得到气体的永久流动。 2007年4月 利用A两侧交换的不均匀,可以产生分子流; 利用两室外侧的管道,可以实现二室真空度相等; 由于温度差的存在,这两种流动将循环不已; 通过A的流动,是从低温向高温室的流动。 若让两室相同,如图所示则P1=P2,,只要保持T1T2,则可以获得持续的流动 永动机模型? 3.9 热流逸现象 第三讲:迁移现象 第三讲:迁移现象 真空与过装教研室 2007年4月 应用:适应泵(气体调节) 利用热流逸现象,串联 多个装置,获得一个客观 的压强比 3.9 热流逸现象 Mathematical model of a nanoporous thermoelectric based Knudsen pump In a Knudsen pump, gas flows from the cold side to the hot side when a temperature gradient is established. For the pump to operate, the gas channels must be small such that the flow regime is transitional or free molecular. The thermoelectric element, which is nanoporous, serves as a generator for the temperature gradient and as a medium for gas flow. the higher the thermoelectric figure of merit Z, the higher the generated pressure and mass flow rate. The maximum pressure is independent of the thermoelectric dimensions, which makes it readily integrated into many applications such as lab-on-a chip, microelectromechanical systems, and microfluidic devices. 真空与过装教研室 第三讲:迁移现象 瞬时压强动态计量-分子流瞬变效应 高真空瞬时压强动态计量 现象:压强瞬时下降导致真空计读数错误(10-4Pa以下)负值 测量值低于实际值 单位:Savannah River Standards Laboratory(萨凡河) 原因:分子流瞬时效应分子离开规管的几率远大于进入规管的几率 突然上升 真空与过装教研室 第三讲:迁移现象 第三讲:迁移现象 3.10 分子辐射力计 真空与过装教研室 2007年4月 1、定义:很早有人发现,在真空中悬挂着的微小物体在光辐射的照射下将受到压力而发生运动 2、实质:微小物体受到辐射力是由于在光辐射照射下,物体表面或物体周围产生温度的不均匀性引起的 3、分类:平板型的物体受到的辐射力根据条件分为 1.高压下热扩散作用:AB光滑面,CD为涂黑面,二者受热不同而产生密度不均,为了抵消而产生扩散作用AB—CD,摩擦作用产生Pa和Pb 2.低压下: 分子从二者返回速度
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