智能型氦质谱检漏仪校准规范.docVIP

HJ-M-187-2009 智能型氦质谱检漏仪校准规程 2009-11-20 发布 2009-12-01 实施 陕西华燕航空仪表有限公司质量保证部 HJ-M-187-2009 本 规 程 签 署 人 员 编制： 校对： 审核： 审定： 标审： 批准： 发放单位及份数 管理室 1 长度计量室 仪器仪表室 2 理化实验室 HJ-M-187-2009 代替 HJ-M-187-96 智能型氦质谱检漏仪校准规程 1. 范围 本规范适用于我公司使用中及修理后的 ZLS-24C 型和 ZLS-26D/T 型氦质 谱检漏仪的校准。（法国阿尔卡特的 ASM182T 型氦质谱检漏仪可参照本规范 校准）。 2. 概述 氦质谱检漏仪主要包括参考漏孔、 节流阀、质谱室、抽气机组（真空部分）、 质谱分析器电源、报警器、信号显示（电器部分） 。由吸枪或喷枪将通过漏孔 漏出的氦气引入质谱室，经过质谱分析，漏气信号的大小由输出指示显示出 来，通过校准可计算出漏率值的大小。经过漏孔标定过的检漏仪，即可用来 检查产品和器件的微小漏隙。 3. 引用文件 QX-61-2001 成都仪器厂企业标准 ZLS-26D/T 氦质谱检漏仪说明书 ASM182T 氦质谱检漏仪使用手册 陕西华燕航空仪表有限公司质保部 HJ-M-187-2009 4. 技术要求 4.1 外观质量 4.1.1 仪器涂层应色泽均匀，外表不得有明显的损伤和锈蚀。 4.1.2 仪器上的开关、旋钮和调节机构应安装牢固，转动灵活。 4.2 绝缘电阻 在正常工作条件下，仪器的电源线和机壳之间的绝缘电阻应大于 5MΩ。 4.3 仪器的错、缺相保护功能（ ZLS-24C型） 使用三相电源的仪器应当有错、缺相保护措施。 4.4 仪器启动时间（ ZLS26D/T型） 仪器开机 5min 后，真空应达到 1× 10 －2P a（仪器已停机 8h 但未超过 24h，系统保持真空），可以启动灯丝，进行检漏工作。 4.5 仪器漏率音响报警功能 漏率音响报警点应能任意设置。开始报警后，音响的频率应随输出示 值的变化而变化。 陕西华燕航空仪表有限公司质保部 HJ-M-187-2009 4.6检漏率仪器的最小可检漏率 ZLS-24C型应优于 2×10－11 Pa.m2.s-1 （对空气） ZLS-26D/T 型应优于 5×10－12 Pa.m2.s-1 （对空气） ASM182T型应优于 5×10－12 Pa.m2.s-1 （对空气） 4.7 粗抽到检漏的切换点（ ASM182T型无此项） 粗抽到检漏的切换点，应能在电阻计指示值为40Pa至 0.1Pa 的范围内 任意设定。 4.8 加速电压的可调节范围： （100V～200V）± 10V（ASM182T 型无此项）。 4.9发射电流的可调节范围： 0.5mA～1.5mA（ASM182T 型无此项）。 4.10仪器的自身漏隙 仪器的高真空系统，不应有对自身喷氦久可以检出的漏隙存在。 5. 校准环境 5.1环境温度： 5℃～35℃。 5.2 相对湿度：≤ 80％RH。 5.3 供电电源： 380 V±38V ; 220 V±22V ; 50HZ±0.5 HZ 5.4仪器附近无强的电磁场干扰，无剧烈震动，无腐蚀性气体。 陕西华燕航空仪表有限公司质保部 HJ-M-187-2009 6. 校准项目及设备 校准项目 周期校准 修理后校准 1 外观检查 检 / 2 绝缘电阻 检 检 3 仪器启动时间 检 检 4 仪器漏率音响报警功能 检 / 5 仪器的最小可检漏率 检 检 6 粗抽到检漏的切换点 检 / 7 加速电压的可调节范围 检 检 8 发射电流的可调节范围 检 检 9 仪器的自身漏隙 检 检 7. 校准方法 7.1 仪器的外观质量 7.1.1 用目视检查，目视检查，仪器涂层应色泽均匀，外表不得有明显的损 伤和锈蚀。 7.1.2 仪器上的开关、旋钮和调节机构应安装牢固，转动灵活。 陕西华燕航空仪表有限公司质保部 HJ-M-187-2009 7.2 绝缘电阻 用 500V 的兆欧表，的昂电源开关在“开”时，测仪器电源线对机壳之间 的绝缘电阻应大于 5MΩ。 7.3 仪器启动时间试验（对 ZLS-26D/T 型） 用秒表记录仪器自开机后至真空达到 1× 10 －2 Pa 的时间（仪器已停机 8h 但未超过 24h，系统保持真空）。 7.4 漏率音响报警功能的试验 调节放大器的输出示值，检验报警点的设定范围及音响器频率的变化。 7.5 仪器的最小可检漏率 按正常开机过程，抽到高真空，激发冷规，待抽到真空度为 1× 10 －2 Pa 以上时，启动灯丝，调节发射电流为 0.75 ～1mA左右，待高真空上升至 0.5 × 10 －3 Pa 以上时，打开漏孔，全开节流阀，调整加速电压，使