传感器实验与设计 2010山东省精品课程教材 教学课件 作者 刘爱华 满宝元 shiyan4.pptVIP

* 山东师范大学大学 实验四、 压阻式压力传感器实验 ★了解扩散硅压阻式压力传感器的工作原理和工作情况。 一、实验目的： 二、基本原理： ★扩散硅压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应制成的器件，也就是在单晶硅的基片上用 扩散工艺（或离子注入及溅射工艺）制成一定形状的应变元件，当它受到压力作用时，应变元件的电阻发生变化，从而使输出电压变化。 三、实验所需部件： 　　 　★直流稳压电源、电压表、差动放大器、血压表、气压皮囊、扩散硅压阻式压力传感器 、皮管。 四、实验步骤： 1、如图1将传感器及电路连好，注意接线正确，否则易损坏元器件，差放接成同相反相均可； V0- VS- F/V表 差放 + - VS+ V0+ 压阻式差压传感器 V +4V 图 1 三通管 皮管 单向调节阀 血压表 气压皮囊 传感器引压咀 图2 2、如图2接好传感器供压回路； 3、将加压皮囊上单向调节阀的锁紧螺丝拧松。 4、开启主、副电源，调整差放零位旋钮，使电压表指示尽可能为零，记下此时电压表读数。 5、 拧紧皮囊上单向调节阀的锁紧螺丝，轻按加压皮囊，当气压表示值约为0.4kp、且电压表有压力指示时，记下此时的读数 ，然后每隔这一气压差，读一次数，并将数据填入下表中。 电压（Mv） 压力（kpa） *