透射电子显微学的新进展_透射电子显微镜及相关部件的发展及应用_李斗星.pdfVIP

第 23 卷 第 3 期 电　子 　显 　微 　学 　报 Vol23 ,No3 2004 年 6 月 Journal of Chinese Electron Microscopy Society 20046 ( ) 文章编号 2004 透射电子显微学的新进展 Ⅰ透射电子显微镜及相关部件的发展及应用 李斗星 ( ( ) ) 中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家 联合 实验室 ,辽宁 沈阳 110016 ( ) ( ) 摘 　要 : 本文综述了透射电子显微镜 TEM 及相关部件 ,即场发射枪 FEG 透射电子显微镜 、慢扫描电荷耦合器件 ( SSCCD) 、球差校正器 、单色器及高能量分辨率的新一代能量过滤成像系统的发展及应用 。商业化的UltraScan 1000 SSCCD 的读写速度已达 4MHz ,接近实时观察图像的目标 ; 已生产出用于 TEM 和 STEM 的球差校正器 ,可把 CM200 FEG TEM 的球差系数从常规的 123mm 调整至 + 2mm～ - 005mm 之间的任意值 ;单色器可把肖特基场发射枪发射 电子的能量分散从 06～08eV 减少至 004～01eV ; 新一代能量过滤成像系统 HRGIF 可把能量分辨率从 08eV 提 高至 005eV 。配有单色器 、球差校正器 、HRGIF 的新一代场发射枪透射电子显微镜可提供亚埃的空间分辨率和亚 电子伏特的能量分辨率 ,为研究物质的原子电子结构提供了可靠的保证 。 关键词 : 场发射枪透射电镜 ;慢扫描电荷耦合器件 ;球差校正器 ;单色器 ;高分辨能量过滤器 中图分类号 : TN16 　　文献标识码 : A 　　1931 年 6 月 4 日 Knoll 和 Ruska 首次报道研制 率”。本文将介绍 目前透射电子显微镜和相关部件 ( ) 成功第一台透射电子显微镜 TEM ,几年后德国、英 的发展及应用 。 国和加拿大等国开始研制透射电镜 。20 世纪 70 年 1 　场发射枪透射电子显微镜 代具有高分辨率的透射电镜和分析电镜出现后 ,它 的分辨水平 日臻细微 ,功能更趋多样 , 已成为现代实 场发射枪透射电子显微镜与 W 或 LaB6 灯丝热 验室中一种不可或缺的研究晶体结构和化学组成的 电子发射透射电镜相比,场发射电子枪具有纳米电 综合仪器 。众所周知 ,界面 、位错 、偏析物和间隙原 子束斑亮度高 、束流大 、出射电子能量分散小和相干 子等缺陷结构 ,对于材料及器件的物理 、力学和电学 性好等优点 ,可显著提高电镜的信息分辨率 ,特别适 性质产生重要影响 ,因此获取物质的原子结构 、化学 合于纳米尺度综合分析 ,如亚纳米尺度成分分析 、精 成分和局域电子态的信息细节是高分辨分析电子显 确测定原子位置 、结构因子和电荷密度等 。 微学的研究目标 。为获得原子间成键信息 ,要求能 70 年代第一台实验场发射枪透射 电镜问世 以 量分辨率达 01～02eV ,为获得缺陷的原子结构细 来 ,特别是 20 世纪 80 年代后期具有高性能、高稳定 节 ,要求“亚埃”的点分辨率 。若要在中等电压的电 性的场发射枪透